Методом просвечивающей электронной микроскопии исследованы кристаллы ZnS, выращенные из газовой фазы, и эпитаксиальные структуры ZnS/(001)GaAs, выращенные методом металлоорганической парофазной эпитаксии, после облучения in situ в электронном микроскопе при энергии электронов 400 keV и интенсивности (1-4)·1019 e/cm2·s. Показано, что при облучении происходит образование мелких дислокационных петель с размерами 2.5-45 nm и плотностью 1.4·1011 cm-2, а также пор и выделений новой фазы с размерами ≤10 nm. Выделения могут быть идентифицированы с помощью анализа муарового контраста как ZnO и ZnO2.
Ю.Ю. Логинов, П. Браун, К. Дьюроуз. Закономерности образования структурных дефектов в полупроводниках A-=SUB=-2-=/SUB=-B-=SUB=-6-=/SUB=-. Логос, М. (2003). 304 с
В.В. Козловский, А.А. Лебедев, Е.В. Богданова, Н.В. Середова. ФТП 49, 1198 (2015)
L. Fedina, A. Gutakovskii, A. Aseev, J. Van Landuyt, J. Vanhellemont. Phys. Status Solidi A 171, 147 (1999)
О.Г. Грушка, В.Т. Маслюк, С.М. Чупыра, О.М. Мыслюк, С.В. Биличук, И.И. Заболоцкий. ФТП 46, 327 (2012)
S. Lavagne, C. Levade, G. Vanderschaeve. Mater. Sci. Eng. B 128, 1 (2006)
M. Heuken. J. Cryst. Growth 146, 570 (1995)
M. Hirata, M. Kiritani. Physica B+C 116, 616 (1983)
K. Nakai, C. Kinoshita, Y. Muroo, S. Katajima. Phil. Mag. A 48, 215 (1983)
K. Urban. Phys. Status Solidi A 56, 157 (1979)
В.М. Лазаренко, Ю.М. Платов, М.И. Плетнев. ФMM 50, 164 (1989)
H. Abe, T. Ishizaki, F. Li, S. Kano, Y. Li, Y. Satoh, T. Nagase, H. Yasuda. Mater. Trans. 55, 423 (2014)
П.Д. Браун, Ю.Ю. Логинов, У.М. Стоббс, К.Дж. Хамфрейс. ФТТ 38, 284 (1996)
Yu.Yu. Loginov, P.D. Brown. Phys. Status Solidi A 132, 323 (1992)
Y.Y. Loginov, P.D. Brown, C.J. Humphreys. Microsc. Semicond. Mater. 146, 431 (1995)
П. Хирш, А. Хови, Р. Николсон, Д. Пэшли, М. Уэлан. Электронная микроскопия тонких кристаллов. Мир, М. (1967). 574 с
N. Thangaraj, B. Wessels. J. Appl. Phys. 67, 1535 (1990)