Издателям
Вышедшие номера
Электронное строение и фазовый состав диэлектрических прослоек в многослойной аморфной наноструктуре [(CoFeB)60C40/SiO2]200
Домашевская Э.П.1, Буйлов Н.С.1, Терехов В.А.1, Ситников В.Г.2, Барков К.А.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 23 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.

Многослойная аморфная наноструктура [(CoFeB)60C40/SiO2]200 из чередующихся композитных и диэлектрических слоев была получена ионно-лучевым распылением на вращающуюся ситалловую подложку из двух мишеней, одна из которых представляла собой металлическую пластину сплава Co40Fe40B20 со вставками графита. Диэлектрические прослойки напылялись из пластины кварца SiO2 (вторая мишень). Толщины бислоев многослойной наноструктуры (МНС) (6 nm), состоящие из металлосодержащих композитных слоев с углеродом (CoFeB)60C40 толщиной около 4 nm и диэлектрических прослоек оксидов кремния толщиной около 2 nm, определялись методом малоугловой дифракции. Результаты экспериментального послойного исследования без разрушения МНС методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии (УМРЭС) показали существенное отклонение стехиометрического состава диэлектрических прослоек от стехиометрии распыляемого кварца в сторону уменьшения содержания кислорода с образованием субоксида SiO1,3. По результатам моделирования Si L2,3-спектров с помощью эталонных спектров известных фаз содержание субоксидной фазы кремния в аморфных диэлектрических прослойках достигает около половины состава прослойки, вторая половина которого приходится на диоксид SiO2. "Экранирующее" действие углерода в металлосодержащих слоях проявляется в отсутствии силицидообразования на интерфейсах исследуемой многослойной структуры и должно способствовать увеличению анизотропии их электромагнитных свойств. Работа выполнена при поддержке Минобрнауки России в рамках государственного задания ВУЗам в сфере научной деятельности на 2014-2016 годы. Проект N 757 и Задание N 3.1868.2014/K. DOI: 10.21883/FTT.2017.01.43968.205
  • О.В. Стогней, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, И.В. Золотухин, А.В. Слюсарев. ФММ 91, 24 (2001)
  • Yu.E. Kalinin, A.V. Sitnikov, O.V. Stogney, I.V. Solotuhin. Mater. Sci. Eng. 304- 306, 941 (2001)
  • Э.П. Домашевская, С.А. Сторожилов, С.Ю. Турищев, В.М. Кашкаров, В.А. Терехов, О.В. Стогней, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, С.Л. Молодцов. ФТТ 50, 135 (2008)
  • E.P. Domashevskaya, S.A. Storozhilov, S.Yu. Turishchev, V.M. Kashkarov, V.A. Terekhov, O.V. Stognej, Yu.E. Kalinin, S.L. Molodtsov. J. Electron Spectroscopy Rel. Phenomena 156- 158, 180 (2007)
  • В.О. Васьковский, Г.С. Патрин, Д.А. Великанов, А.В. Свалов, П.А. Савин, А.А. Ювченко, Н.Н. Щеголева. ФТТ 49, 291 (2007)
  • Л.А. Чеботкевич, А.В. Огнев, Ю.П. Иванов, K. Lenz, А.И. Ильин, К.С. Ермаков. ФТТ 51, 1761 (2009)
  • R.S. Iskhakov, S.V. Stolyar, V.Yu. Yakovchuk, M.V. Chizhik. Solid State Phenomena 168- 169, 69 (2011)
  • A.B. Pakhomov, X. Yan. Solid State Commun. 99, 139 (1996)
  • Б.А. Аронзон, Д.Ю. Ковалев, А.Н. Лагарьков.,Е.З. Мейлихов, В.В. Рыльков, М.А. Седова, Н. Негре, М. Гойран, Дж. Леотин. Письма в ЖЭТФ 2, 87 (1999)
  • И.В. Быков, E.A. Ганьшина, А.Б. Грановский, B.C. Гущин, A.A. Козлов, Т. Macyмото, С. Онума. ФТТ 2, 268 (2005)
  • A.M. Kadigrobov, M.V. Fistul, K.B. Efetov. Phys. Rev. B 73, 235 (2006)
  • Ju. Chekrygina, A. Devizenko, Yu. Kalinin, E. Lebedeva, I. Shipkova, A. Sitnikov, N. Syr'ev, S. Vyzulin. Solid State Phenomena 190, 605 (2012)
  • Б.А. Аронзон, А.Б. Грановский, А.Б. Давыдов, М.Е. Докукин, Ю.Е. Калинин, С.Н. Николаев, В.В. Рыльков, А.В. Ситников, В.В. Тугушев. ЖЭТФ 130, 127 (2006)
  • Э.П. Домашевская, А.В. Чернышев, С.Ю. Турищев, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, Д.Е. Марченко. ФТТ 55, 1202 (2013)
  • Э.П. Домашевская, А.В. Чернышев, С.Ю. Турищев, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, Д.Е. Марченко. ФТТ 56, 2219 (2014)
  • Э.П. Домашевская, В.А. Терехов, С.Ю. Турищев, Д.Е. Спирин, А.В. Чернышев, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников. ФТТ 58, 991 (2016)
  • А.А. Абрычкин, А.А. Алешников, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, О.С. Тарасова Вестн. Воронежского гос. техн. ун-та 8, 71 (2012)
  • Э.Ю. Мануковский. Автореферат канд. дисс. Воронеж. ВГУ (2000) 16 с.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.