"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Создание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора
Степанов А.Л.1,2,3, Нуждин В.И.1, Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Валеев В.Ф.1, Воробьев В.В.2, Осин Ю.Н.2
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского Казанского научного центра РАН
2Казанский федеральный университет
3Казанский национальный исследовательский технологический университет
Email: aanstep@gmail.com
Поступила в редакцию: 23 июня 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.

Настоящее исследование относится к способам изготовления дифракционных оптических элементов (дифракционных решеток). Дифракционная решетка была получена на основе алмаза при его имплантации ионами бора через маску. В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого алмаза произошла графитизация алмаза, приведшая к распуханию облученного слоя. Формирование периодических поверхностных графитизированных микроструктур на поверхности алмаза контролировалось методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционного оптического алмазного элемента показана путем его зондирования излучением гелий-неонового лазера. DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44185.16385
  • Раткин Л. // Фотоника. 2011. N 4. С. 18-23
  • Сойфер В.А. Методы компьютерной оптики. М.: Физматлит, 2003
  • Коненко В.В., Конов В.И., Пименов С.М. и др. // Квантовая электроника. 1999. Т. 26. N 1. С. 9-10
  • Karlsson M., Nikolajeff F. // Opt. Express. 2003. V. 11. P. 502-507
  • Тукмаков К.Н., Володин Б.О., Павельев В.С. и др. // Вестник Самарского аэрокосмического госуниверситета. 2012. Т. 7. В. 38. С. 112-116
  • Shvydko Y., Stopin S., Blank V., Terentev S. // Nat. Photon. 2011. V. 5. P. 539-542
  • Веревкин Ю.К., Бронникова Н.Г., Королихин В.В. и др. // ЖТФ. 2003. Т. 73. С. 99-102
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А. Способ изготовления дифракционных оптических элементов на алмазных и алмазоподобных подложках: Патент РФ N 2197006. 2003
  • Stepanov A.L., Galyautdinov M.F., Evlyukhin A.B. et al. // Appl. Phys. A. 2013. V. 111. P. 261-264
  • Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н. Дифракционная решетка: Патент РФ N 140494. 2014
  • Галяутдинов М.Ф., Нуждин В.И., Фаттахов Я.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 4. С. 30-37
  • Курбатова Н.В., Галяутдинов М.Ф., Иванов Н.А и др. // ФТТ. 2013. Т. 55. В. 9. С. 1784-1787
  • Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации: Дис. ... канд. физ.-мат. наук. М., 2008. 97 с
  • Deslandes A., Guenette M.C., Belay K. et al. // Nucl. Instr. Metn. Phys. Res. B. 2015. V. 365. P. 331-335
  • Hushur A., Manghnani M., Werheit H. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2016. V. 28. P. 045403 (1-5)
  • Domnich V., Reynaud S., Haber R.A., Chhowalla M. // J. Am. Ceram. Soc. 2011. V. 94. P. 3605-3628
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.