"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Определение формы инденторов нанотвердомеров интерферометрическим способом
Казиева Т.В.1, Кузнецов А.П.1, Губский К.Л.1, Понарина М.В.1, Решетов В.Н.2
1Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ, Москва
2Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, Москва, Троицк
Email: glizerogen@gmail.com
Поступила в редакцию: 26 сентября 2016 г.
Выставление онлайн: 20 января 2017 г.

Предложен способ определения функций площади поверхности алмазных инденторов нанотвердомеров с помощью метрологического атомно-силового микроскопа с трехкоординатным лазерным интерферометром. Были проведены измерения формы граней ряда инденторов типа пирамиды Берковича. Точность измерения координат точек поверхности индентора составила 1 nm. Показано, что в процессе использования инденторов происходит изменение формы их вершины, в частности на первых 100 nm отклонение от идеальной пирамидальной формы может превышать 30 nm. Таким образом, одним из способов верификации функции площади поверхности индентора может быть периодическая поверка инденторов на метрологическом атомно-силовом микроскопе. DOI: 10.21883/PJTF.2017.03.44223.16487
  • DIN EN ISO 14577-1. Metallische Werkstoffe --- Instrumentierte Eindringprufung zur Bestimmung der Harte und anderer Werkstoffparameter. Teil 1: Prufverfahren
  • Усеинов C., Соловьев В., Гоголинский К. и др. // Наноиндустрия. 2010. N 2
  • ГОСТ 9377-81. Наконечники и бойки алмазные к приборам для измерения твердости металлов и сплавов. М.: Изд-во стандартов, 1987
  • Oliver W.C., Pharr G.M. // J. Mater. Res. 1992. V. 7. N 6. P. 1564--1583
  • ГОСТ Р 8.748-2011(ИСО 14577-1 : 2002) Государственная система обеспечения единства измерений. Металлы и сплавы. Измерение твердости и других характеристик материалов при инструментальном индентировании. М.: Стандартинформ, 2013
  • Chudoba T., Jennett N.M. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. V. 41. P. 215407
  • Useinov A.S., Kravchuk K.S., Rusakov A.A et al. // J. Phys. Procedia. 2015. V. 72. P. 194--198
  • Kuznetsov A.P., Gubskiy K.L., Reshetov V.N. et al. // Proc. SPIE. 2015. 9636.96360R
  • http://nanoscan.info
  • ГОСТ Р 8.628-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. М.: Стандартинформ, 2011
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.