Методами растровой электронной микроскопии в сочетании с энергодисперсионным элементным микроанализом, рентгеноструктурного анализа, микроиндентирования исследовано влияние условий осаждения в реактивной азотной атмосфере на морфологию роста, фазовый состав, структуру и механические характеристики (микротвердость) вакуумно-дуговых многослойных покрытий, полученных испарением (Ti6%Si) и Mo-катодов. Установлено, что в случае тонких нанослоев (около 7 nm), сформированных из веществ, сильно отличающихся теплотой образования (-336 kJ/mol для TiN и -34 kJ/mol для MoN), в процессе формирования может происходить перераспределение атомов азота в область более сильного нитридообразующего элемента (Ti). Это приводит к расслоению с образованием нитрида TiN и металла Mo (более слабого нитридообразующего элемента). По мере увеличения давления азотной атмосферы при осаждении конденсата с 6·10-4 до 5·10-3 Торр происходит насыщение связей азот-металл в слоях сильных нитридообразующих элементов Ti(Si). Результатом является сначала заполнение этого соединения азотом до стехиометрического состава, а затем и насыщение азотом второй системы слоев на основе молибдена с образованием фазы gamma-Mo2N. Повышение потенциала смещения USP от -100 до -200 V интенсифицирует в тонких слоях процессы перемешивания с образованием твердого раствора (Ti, Si, Mo)N и приводит к понижению микротвердости с 37 до 32 GPa. DOI: 10.21883/JTF.2017.05.44455.2030
Nanostructured coatings / Ed. by Albano Cavaleiro, Jeff Th.M.De Hosson. N. Y.: Springer-Verlag, 2006. 648 p
Погребняк А.Д., Дробышевская А.А., Береснев В.М., Кылышканов М.К., Кирик Е.В., Дуб С.Н., Комаров Ф.Ф., Шипиленко А.П., Тулеушев Ю.Ж. // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 7. С. 124--131
Sobol' O.V., Grigorjev O.N., Kunitsky Yu.A., Dub S.N., Podtelezhnikov A.A., Stetsenko A.N. // Sci. of Sintering. 2006. Vol. 38. P. 63--72
Sobol' O.V., Andreev A.A., Stolbovoi V.A., Fil'chikov V.E. // Technical Phys. Lett. 2012. Vol. 38. N 2. P. 168--171
Munz W.D. // Vac. Sci. Technol. A. 1986. Vol. 4. Р. 2717--2725
Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. N 1. С. 36--64
Beresnev V.M., Sobol O.V., Toryanik I.N., Meylekhov A.A., Nyemchenko U.S., Turbin P.V, Yakushchenko I.V., Lisovenko M.O. // J. Nano- and Electronic Phys. 2014. Vol. 6. N 1. P. 01030 (3 pp)
Hua M., Maa H.Y., Li J., Mok C.K. // Surf. Coat. Technol. 2006. Р. 3612--3625
Sobol' O.V. // Phys. Sol. Stat. 2007. Vol. 49. N 6. P. 1161--1167
Игнатенко П.И. // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 2. С. 108--112
Sobol' O.V. // Phys. Metals and Metallography. 2001. Vol. 91. N 1. P. 60--67
Knotek O., Bohmer M., Leyendecker T., Jungblut F. // Mater. Sci. Eng. AW. 1988. Vol. 6. Р. 481--488
Sobol' O.V., Andreev A.A., Grigoriev S.N., Gorban' V.F., Volosova S.N., Aleshin S.V., Stolbovoy V.A. // Problems of Atomic Science and Technology. 2011. N 4. P. 174--177
Андриевский Р.А. Синтез и свойства пленок фаз внедрения // Успехи химии. 1997. Т. 66. N 1. С. 57--77
Соболь О.В., Андреев А.А., Горбань В.Ф., Столбовой В.А., Мейлехов А.А., Постельник А.А. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 7. С. 100--103
Hakansson G, Sundgren J.E., Mcintyre D., Greene J.E., Munz W.D. // Thin Solid Films. 1987. Vol. 153. Р. 55--65
Metastable, Mechanically Alloyed and Nanocrystalline Materials / By ed. R. Shulz. Zurich: Transtech Publications, 1996. Part 1. 263 p
Benia H.M., Guemmaz M., Schmerber G., Mosser A., Parlebas J.-C. // Appl. Surface Sci. 2002. N 200. Р. 231--238
Heinrich S., Schirmer S., Hirsch D., Gerlach J.W., Manova D., Assmann W., Mandl S. // Surface \& Coatings Technology. 2008. Vol. 202. Р. 2310--2313
Mayrhofer P.H., Mitterer Ch., Wen J.G., Greene J.E., Petrov I. // Appl. Phys. Lett. 2005. Vol. 86. N 13. P. 131909 (3)
Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М. Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. Киев: Наукова думка, 2012. 726 c