"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Морфология и внутренняя структура тонких пленок оксида олова, газочувствительных к парам этанола при температуре, близкой к комнатной
Mahdi O.S.1,2, Маляр И.В.1, Галушка В.В.1, Смирнов А.В.1, Синёв И.В.1, Вениг С.Б.1
1Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
2Al-Muthanna University, Samawah, Iraq
Email: imalyar@yandex.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были получены тонкие пленки оксида олова. Было показано, что они обладают газочувствительностью к парам этанола при 38oC. Измерения морфологии и внутренней структуры скола образцов методами атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии позволили установить, что пленки состоят из наноразмерных зерен стержневидной формы, ориентированных перпендикулярно подложке. Зерна разделены порами, пронизывающими пленку на всю толщину. Было установлено, что распределение зерен по их диаметру является нормальным логарифмическим и имеет несколько центров, которые соотносятся как малые целые числа, что свидетельствует о срастании зерен между собой. Минимальный размер зерна в 6 nm может соответствовать критическому размеру зародыша при выбранных условиях осаждения пленок. DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44698.16597
  • Das S., Jayaraman V. // Prog. Mater. Sci. 2014. V. 66. P. 112--255
  • Batzill M., Diebold U. // Prog. Surf. Sci. 2005. V. 79. N 2. P. 47--154
  • Seal S., Shukla S. // JOM. 2002. V. 54. N 9. P. 35--38
  • Choi K.J., Jang H.W. // Sensors. 2010. V. 10. N 4. P. 4083--4099
  • Llobet E. // Sens. Actuat. B: Chemical. 2013. V. 179. P. 32--45
  • Arafat M.M. et al. // Sensors. 2012. V. 12. N 6. P. 7207--7258
  • Rembeza S., Voronov P., Rembeza E. // Sens. Transducers J. 2010. V. 122. P. 46--54
  • Sberveglieri G. et al. // Sens. Actuat. B: Chemical. 1992. V. 8. N 1. P. 79--88
  • Anders A. // Thin Solid Films. 2010. V. 518. N 15. P. 4087--4090
  • Синев И.В. Температурная зависимость сопротивления тонкопленочных резисторов на основе диоксида олова: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук. Саратов, 2014. 18 с
  • Симаков В.В., Синев И.В., Смирнов А.В. // Нанотехника. 2011. N 3. С. 45--46
  • Palmer J.E., Thompson C.V., Smith H.I. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. N 6. P. 2492--2497
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.