"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Голографический метод количественного измерения фотолитографических реплик толстых рельефных дефектов поверхности
Будников Н.С. 1, Дуденкова В.В. 1,2, Котомина В.Е. 1, Морозов О.А. 1, Семенов В.В.3
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород
2Нижегородская государственная медицинская академия федерального агентства по здравоохранению и социальному развитию, Нижний Новгород, Россия
3Институт металлоорганической химии им. Г.А. Разуваева РАН, Нижний Новгород
Email: budnikoff.politotdel@yandex.ru, orannge@mail.ru, kotominav@list.ru, oa_morozov@nifti.unn.ru, vvsemenov@iomc.ras.ru
Поступила в редакцию: 20 января 2017 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Для задачи оценки характерных размеров и рельефа микродефектов поверхности образцов сложной формы представлен голографический метод измерений прозрачных реплик --- обратной маски к исследуемой поверхности. Метод измерений основан на цифровой регистрации интерферограмм полимерной реплики в модифицированной внеосевой голографической схеме Лейта-Упатниекса и расчете разности набега фазы по серии восстановленных цифровых голограмм. DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44700.16710
  • Экспериментальная механика: в 2 т. / Под ред. А. Кобаяси. М.: Мир, 1990
  • Панин В.Е., Егорушкин В.Е., Макаров П.В. и др. Физическая мезомеханика и компьютерное конструирование материалов. Новосибирск: Наука, 1995. Т. 1. 298 с
  • Минеев С.А., Морозов О.А., Сотникова О.В., Гущина Ю.Ю. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. N 7. С. 96--98
  • Семенова О.В., Зашивалова И.А., Морозов О.А. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 14. С. 32--39
  • Treushnikov V.M., Chesnokov S.A. // J. Photochem. Photobiol. A. Chem. 2008. V. 196. N 2-3. P. 201--209
  • Муравьева М.С., Дуденкова В.В., Рыбников А.И., Захаров Ю.Н. // Известия вузов. Радиофизика. 2014. Т. 57. N 8-9. С. 646--653
  • Рыбников А.И., Дуденкова В.В., Муравьева М.С., Захаров Ю.Н. // Оптический журнал. 2013. Т. 80. N 7. С. 66--73
  • Popescu G. Quantitative phase imaging of cells and tissues. McGraw-Hill Companies, Inc., 2011. 362 p
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.