"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез графена методом холодной имплантации атомов отдачи углерода
Агафонов Ю.А. 1, Зиненко В.И. 1, Кононенко О.В. 1, Сарайкин В.В.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская область, Черноголовка
2Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград
Email: agafon@iptm.ru, zinenko@iptm.ru, oleg@iptm.ru, vvsaraykin@yandex.ru
Поступила в редакцию: 8 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Предложен новый способ введения углерода в металлические каталитические пленки для синтеза графена. Способ основан на явлении имплантации атомов отдачи углерода из слоя молекул метана, адсорбированных на металлической пленке, при облучении такой структуры ионами инертных газов. Для увеличения толщины адсорбированного слоя метана образцы охлаждались до температуры -190oC. Этот метод был реализован на поликристаллической пленке никеля. После отжига на поверхности никелевой пленки методом рамановской спектроскопии обнаружены многочисленные фрагменты многослойного графена. DOI: 10.21883/PJTF.2017.12.44708.16736
  • Slaven Gara, William Hubbart, Golovchenko J.A. // Appl. Phys. Lett. 2010. V. 97. P. 183103 (3p.)
  • Laurent Baraton, Zhanbing He, Chang Seok Lee et al. // Nanotechnology. 2011. V. 22. P. 085601 (5p.)
  • Gutierres G., Le Normand F., Muller D. et al. // Carbon. 2014. V. 66. P. 1--10
  • Зиненко В.И., Агафонов Ю.А., Вяткин А.Ф., Пустовит А.Н. // Вестник ННГУ. Сер. Физ. тв. тела. 2005. В. 1 (8). С. 5--8
  • Вяткин А.Ф., Зиненко В.И., Агафонов Ю.А., Сарайкин В.В. Патент РФ. N 2523732. Приоритет от 30.01.2013
  • Kononenko O.V., Matveev V.N., Kasumov A.Yu. et al. // Vacuum. 1995. V. 46. N 7. P. 685--690
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.