Издателям
Вышедшие номера
Электронно-лучевая зарядка диэлектриков, предварительно облученных ионами и электронами средних энергий
Рау Э.И.1, Татаринцев А.А.1, Зыкова Е.Ю.1, Иваненко И.П.1, Купреенко С.Ю.1, Миннебаев К.Ф.1, Хайдаров А.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 28 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.

Изучены эффекты зарядки диэлектрических мишеней при облучении электронами средних энергий в сканирующем электронном микроскопе. Установлены существенные различия кинетики зарядки для исходных образцов и образцов, предварительно облученных электронами и ионами. Эти различия объясняются радиационно-стимулированным дефектообразованием в образцах Al2O3 (сапфир) и SiO2, имеющим, однако, различную природу. Показана роль модификации структуры поверхности и изменения электрофизических характеристик поверхности, в частности эффекта растекания зарядов. Обнаружены критические значения дозы облучения как ионами Ar+, так и электронами, при которых начинается активное дефектообразование в диэлектрических мишенях, а также критические значения внутренних полей зарядов, вносящих существенный вклад во временные характеристики зарядки Al2O3 и SiO2. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 15-02-07819а). DOI: 10.21883/FTT.2017.08.44749.460
  • J. Cazaux. J. Appl. Phys. 89, 8265 (2001)
  • A. Melchinger, S. Hofmann. J. Appl. Phys. 78, 6224 (1995)
  • N. Cornet, D. Goeuriot, C. Guerret-Piecourt, D. Juve, D. Treheux, M. Touzin, H.-J. Fitting. J. Appl. Phys. 103, 064110 (2008)
  • B. Askri, R. Renoud, K. Raouadi, J.-P. Ganachaud. Eur. Phys. J. Appl. Phys. 32, 29 (2005)
  • Э.И. Рау, Е.Н. Евстафьева, М.В. Андрианов. ФТТ 50, 599 (2008)
  • Е.Н. Евстафьева, Э.И. Рау, А.А. Татаринцев. Вестн. МГУ. Сер. 3. Физика, астрономия 2, 34 (2013)
  • E.I. Rau, S. Fakhfakh, M.V. Andrianov, E.N. Evstafeva, O. Jbara, S. Rondot, D. Mouze. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 266, 719 (2008)
  • F. Lefebre, J.P. Vigouroux, J. Perreau. J. Appl. Phys. 65, 1683 (1989)
  • R.A. Baragiola, M. Shi, R. Vidal, C. Dukes. Phys. Rev. B. 58, 13212 (1998)
  • E. Cheifetz, V. Richter, A. Zalman, R. Kalish. Diamond. Relat. Mater. 10, 824 (2001)
  • S. Yogev, J. Levin, M. Molotskii, A. Schwarzman, O. Avayu, Y. Rosenwaks. J. Appl. Phys. 103, 064107 (2008)
  • A. Hoffman, S. Prawer, R. Kalish. Phys. Rev. B 45, 12736 (1992)
  • E.I. Rau, A.A. Tatarintsev, V.V. Khvostov, V.E. Yurasova. Vacuum 129, 142 (2016)
  • Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Мир, М. (1986). В. 2. 488 с
  • R. Kelly. J. Vac. Sci. Technol. 21, 778 (1982)
  • N.V. Alov. Phys. Status Solidi C 12, 263 (2015)
  • M.L. Knotek, P.J. Feibelman. Surf. Sci. 90, 78 (1979). 18 Е.Ю. Зыкова, А.А. Хайдаров, И.П. Иваненко, И.К. Гайнуллин. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 11, 7 (2012)
  • K.F. Minnebaev, V.V. Khvostov, E.Yu. Zykova, K.A. Tolpin, J.S. Colligon, V.E. Yurasova. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 354, 159 (2015)
  • J.P. Vigouroux, J.P. Duraud, A. Le Moel, C. Le Gressus. J. Appl. Phys. 57, 5139 (1985)
  • G. Blaise, C. Le Gressus. J. Appl. Phys. 69, 6334 (1991)
  • В.В. Никитин, П.В. Комолова, Э.И. Рау. Опт. и спектр. 60, 1186 (1986)
  • K.S. Kim, W.E. Baitinger, J.W. Amy, N. Winograd. J. Electron. Spectrosc. 5, 351 (1974)
  • E. Paparazzo. J. Electron. Spectrosc. 50, 47 (1990)
  • M. Khellafi, B. Lang. Rev. de Phys. Appl. (Paris) 25, 389 (1990)
  • M.B. Guseva, V.V. Khvostov, V.M. Kostishko, S.Yu. Kovalenko. Surf. Sci. Lett. 276, L24 (1992)
  • P. Levy. Phys. Rev. 123, 1226 (1961)
  • M. Choi, A. Janotti, Ch.G. Van de Walle. J. Appl. Phys. 113, 044501 (2013)
  • O.V. Rakhovskaya, S.S. Elovikov, E.M. Dubinina, E.S. Shakhurin, A.P. Dementjev. Surf. Sci. 274, 190 (1992)
  • D. Pooley. Proc. Phys. Soc. 87, 245 (1966)
  • Ч.Б. Лущик, И.К. Витол, М.А. Эланго. ФТТ 6, 2753 (1968)
  • K. Tanimura, T. Tanaka, N. Itoh. Phys. Rev. Lett. 51, 423 (1983)
  • M.A. Stevens-Kalceff. Phys. Rev. Lett. 84, 3137 (2000)
  • A. Crisci, B. Gosse, J.-P. Gosse, V.O. Dureault. Eur. Phys. J. Appl. Phys. 4, 107 (1998)
  • R. Hanna, T. Paulmier, M. Belhaj, P. Molinie, B. Dirassen, P. Payan, N. Balcon. J. Phys. D 44, 445402 (2011)
  • B.N. Hendriks, G. van Gorkom, A. van Keersop, N. Lambert, S.T. de Zwart. J. Appl. Phys. 85, 1848 (1999)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.