"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эффект Горского при синтезе пленок карбида кремния из кремния методом топохимического замещения атомов
РФФИ, 15-0306155
РФФИ, 16-29-03149-офи-м
Кукушкин С.А. 1,2,3, Осипов А.В.1,2
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
3Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 30 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2017 г.

Исследуются механизмы испарения кремния (Si) с поверхности карбида кремния (SiC), выращиваемого методом замещения атомов. Предполагается, что одной из причин, вызывающих испарение Si, является возникновение упругих деформаций на этапе охлаждения образца с пленкой SiC. Теоретически показано, что под действием упругих напряжений в слое SiC возникает механохимический эффект Горского, в результате которого происходит перераспределение атомов Si и С в слое SiC, что приводит к нарушению стехиометрии пленок и асимметрии их состава по толщине слоя SiC. Для получения однородных по составу с низкой концентрацией кремниевых вакансий эпитаксиальных пленок SiC предложено их выращивать из газовой смеси монооксида углерода (CO) с трихлормоносиланом (SiHCl3). DOI: 10.21883/PJTF.2017.13.44815.16625
  • Kukushkin S.A., Osipov A.V. // J. Appl. Phys. 2013. V. 113. P. 0249091--7
  • Kukushkin S.A., Osipov A.V. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 2014. V. 47. P. 313001--41
  • Кукушкин С.А., Осипов А.В., Феоктистов Н.А. // ФТТ. 2014. Т. 56. В. 8. С. 1457--1485
  • Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 2016. Т. 58. В. 4. С. 761--768
  • Сорокин Л.М., Веселов Н.В., Щеглов М.П. и др. // Письма ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 22. С. 88--94
  • Stoney G.G. // Proc. R. Soc. London. 1909. Ser. A. V. 82. P. 172--175
  • Ратников В.В., Калмыков А.Е., Мясоедов А.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 22. С. 25--32
  • Gorsky W.S. // Phys. Zeitschrift Sowjet. 1935. Т. 8. С. 457--471
  • Косевич А.М. // УФН. 1974. Т. 114. В. 3. С. 509--532
  • Cimala V., Wohenr Th., Pezoldt J. // Mat. Sci. Forum. 2000. V. 338--342. P. 321--324
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.