В кристаллах кремния с различным примесным составом, деформированных пластически при температурах выше 1000oC, определена специфика влияния кислорода на спектры дислокационной фотолюминесценции (ДФЛ) при 4.2 K. Обнаружено сильное влияние типа легирующей примеси на спектры ДФЛ при концентрациях выше 1016 cm-3. Показано, что особенности многих спектров ДФЛ в кремнии могут быть объяснены в предположении, что линии D1 и D2 связаны с дислокационными ступеньками краевого типа на скользящих дислокациях. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 00-15-96703 и 02-02-17024).
Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма в ЖЭТФ 23, 651 (1976)
R. Sauer, C. Kisielowski-Kemmerich, H. Alexander. Appl. Phys. A36, 1 (1985)
A.N. Izotov, A.I. Kolyubakin, S.A. Shevchenko, E.A. Steinman. Phys. Stat. Sol. (a) 130, 193 (1992)
V.V. Kveder, E.A. Steinman, S.A. Shevchenko, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B 51, 10 520 (1995)
A.N. Izotov, E.A. Stienman. Phys. Stat. Sol. (a) 104, 777 (1987)
S.A. Shevchenko, Yu.A. Ossipyan, T.R. Mchedlidze, E.A. Steinman, R.A. Batto. Phys. Stat. Sol. (a) 146, 745 (1994)
S.A. Shevchenko, A.N. Izotov. Phys. Stat. Sol. (a) 138, 665 (1993)
T. Sekiguchi, K. Sumino. J. Appl. Phys. 79, 3253 (1996)
O.V. Feklisova, G. Mariani-Reguta, B. Pichaud, E.B. Yakimov. Phys. Stat. Sol. (a) 171, 341 (1998)
E.A. Steinman, V.I. Vdovin, T.G. Yugova, V.S. Avrutin, N.F. Izyumskaya. Semicond. Sci. Technol. 14, 582 (1999)
W. Wijaranakula. J. Appl. Phys. 72, 4026 (1992)
C. Clayes, E. Simoen, J. Vanhellemont. J. Phys. III France 7, 1469 (1997)
S. Pizzini, M. Guzzi, E. Grilli, G. Borionetti. Journal of Physics: Condens. Matter 12, 10 131 (2000)
Ж Фридель. Дислокации. Мир, М. (1967). 644 с
В.И. Вдовин, Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Е.И. Шек, Т.Г. Югова. Изв. РАН. Сер. физ. 66, 279 (2002)
H. Gotschalk. Phys. Stat. Sol. (a) 137, 447 (1993)
B. Shen, T. Sekiguchi, J. Jablonski, K. Sumino. J. Appl. Phys. 76, 4540 (1994)
K. Sumino. Phys. Stat. Sol. (a) 171, 111 (1999)
A. Cavallini, M. Vandini, F. Cirticelli, A. Armigliato. Inst. Phys. Conf. Ser. 134, 115 (1993)
K. Minova, I. Yonenaga, K. Sumino. Mater. Lett. 11, 164 (1991)
H. Moller, L. Long, M. Werner, D. Yang. Phys. Stat. Sol. (a) 171, 175 (1999)
A.N. Drozdov, A.A. Patrin, V.D. Tkachev. Phys. Stat. Sol. (b) 83, K137 (1977)
A.N. Drozdov, A.A. Patrin, V.D. Tkachev. Phys. Stat. Sol. (a) 64, K63 (1981)
А.Н. Изотов, Э.А. Штейнман. ФТТ 28, 1172 (1980)
A. Borghesi, B. Pivac, A. Sassela, A. Stella. J. Appl. Phys. 77, 4169 (1995)
S. Hahn, F.A. Ponce, W.A. Tiler, V. Stojanov, D.A.P. Bulla, W.E. Castro, jr. J. Appl. Phys. 64, 4454 (1988)
M. Imai, K. Sumino. Phil. Mag. A47, 599 (1983)
R. Jones, A. Umerski, P. Sitch, M.I. Heggie, S. Oberg. Phys. Stat. Sol. (a) 138, 369 (1993)
E.C. Lightowlers, V. Higgs. Phys. Stat. Sol. (a) 138, 665 (1993)
А.И. Колюбакин, Ю.А. Осипьян, С.А. Шевченко, Э.А. Штейнман. ФТТ 26, 677 (1984)
G. Packeiser, P. Haasen. Phil. Mag. 35, 821 (1977)
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук