Особенности экспериментальных спектров лазерной плазмы с плотной Xe газоструйной мишенью в дальнем ультрафиолетовом диапазоне
Белик В.П.1, Калмыков С.Г.1, Можаров А.М.2, Петренко М.В.1, Сасин М.Э.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет РАН
Email: Serguei.Kalmykov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Описываются спектры свечения в диапазоне длин волн 5-25 nm лазерной плазмы, создаваемой на газовой струе из Xe и смеси Xe + Ar с плотностью атомов до 7· 1018 cm-3. В спектрах Xe отсутствуют дискретные спектральные линии, но в полосе 9-14 nm наблюдается широкий непрерывный пик излучения, максимум которого при вариациях условий эксперимента обнаруживает закономерное смещение по шкале длин волн, которое приписывается соответствующему изменению температуры плазмы. Другой особенностью является лишь незначительное уменьшение интенсивности свечения Xe при сильном разбавлении мишени аргоном. DOI: 10.21883/PJTF.2017.22.45255.16957
Levinson H.J. // 2016 Int. Workshop on EUV lithography, CXRO, LBNL, Berkeley (USA), 2016. P. 1; https://www.euvlitho.com/2016/P1.pdf
Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Adv. 2013. V. 3. P. 082130
Fiedorowicz H. et al. // X-ray optics and microanalysis, Bristol: IOP Publ., 1992. P. 515
Fiedorowicz H. et al. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. P. 2278
Bogachev S.A. et al. // Appl. Opt. 2016. V. 55. P. 2126
Kramida A. et al. NIST Atomic Spectra Database. NIST, Gaithersburg, 2014; http://physics.nist.gov/asd
Stamm U., Gabel K. // EUV sources for lithography/Ed. Bellingham (USA): / Ed. SPIE Press, 2006. Ch. 19
O'Sullivan G. // 2011 Int. Workshop on EUV lithography, Maui, Hawaii, 2011. P. 2; http://www.euvlitho.com/2011/P2.pdf
Garbaruk A.V. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2017. V. 50. P. 025201
Белик В.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. В 21. С. 102
Гарбарук А.В. и др. // ЖТФ. 2011. Т. 81. В. 6. С. 20
Chung H.-K. et al. // High Energy Density Phys. 2005. V. 1. P. 3
Bergmann K. et al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 106. P. 073309
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.