УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка
Абдуев А.Х.
1, Асваров А.Ш.
1, Ахмедов А.К.
1, Эмиров Р.М.
2, Беляев В.В.
31Институт физики им. Х.И. Амирханова ДагНЦ РАН, Махачкала
2Дагестанский государственный университет, Махачкала
3Московский государственный областной университет
Email: cht-if-ran@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 мая 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Выполнены сравнительные исследования микроструктуры, оптических и электрических характеристик слоев ZnO, легированного галлием, синтезированных методом магнетронного распыления при ассистировании процесса роста ультрафиолетовым излучением и без ассистирования. Обнаружено, что УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе ZnO способствует улучшению их электрических характеристик за счет создания дополнительных донорных центров и снижения рассеяния носителей заряда на межзеренных границах, существенно не влияя при этом на морфологию слоев и средний коэффициент оптического пропускания в видимой области спектра. DOI: 10.21883/PJTF.2017.22.45259.16874
Stadler A. // Materials 2012. V. 5. P. 661
Abduev A., Akmedov A., Asvarov A. et al. // Plasma Process. Polym. 2015. V. 12. P. 725
Horwat D., Mickan M., Chamorro W. // Phys. Status Solidi C. 2016. V. 13. P. 951
Tien Ch.-L., Yu K.-Ch., Tsai T.-Y. et al. // Appl. Surf. Sci. 2015. V. 354. P. 79
Tominaga K., Umezu N., Mori I. et al. // Thin Solid Films. 1998. V. 316. P. 85
Abduev A., Akhmedov A., Asvarov A. // J. Phys.: Conf. Ser. 2011. V. 291. P. 012039
Абдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 14. С. 71
Morrison S.R. The chemical physics of surfaces. N. Y.-London: 1977. 415 p. [ Моррисон C. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980, 488 с.]
Tseng Y.-K., Pai F.-M., Chen Y.-Ch. et al. // Electron. Mater. Lett. 2013. V. 9. P. 771
Достанко А.П., Агеев О.А., Голосов Д.А. и др. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 9. С. 1274
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.