"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние частоты вращения дискового подложкодержателя на кристаллоструктурные характеристики слоев арсенида галлия, формируемых в процессе MOCVD эпитаксии
Болдыревский П.Б.1, Филатов Д.О.1, Казанцева И.А.1, Ревин М.В.1, Смотрин Д.С.1, Юнин П.А.2
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: bpavel2@rambler.ru
Поступила в редакцию: 24 июня 2017 г.
Выставление онлайн: 20 января 2018 г.

Изучено влияние частоты вращения дискового подложкодержателя на механизм роста и кристаллоструктурные характеристики слоев арсенида галлия, формируемых в процессе газофазной эпитаксии с использованием металлоорганических соединений и гидридов (MOCVD). Установлены зависимости скорости и механизма роста, общей степени совершенства кристаллической структуры слоев при изменении частоты вращения от 0 до 400 rpm. DOI: 10.21883/JTF.2018.02.45411.2405
  • Molecular Beam Epitaxy and Heterostructures / Ed. by L.L. Chang, K. Ploog. Amsterdam: Martimus Nijhoff, 1985. 700 p
  • Herman M.A., Richter W. Epitaxy-Physical Principles and Technical Implementation. Berlin: Sitter, Springer, 2004. 507 p
  • Stringfellow G.B. Organometallic Vapor-phase Epitaxy: Theory and Practice. Boston: Academic Press, 1999. 572 p
  • Болдыревский П.Б., Коровин А.Г., Денисов С.А., Светлов С.П., Шенгуров В.Г. // ЖТФ. 2014. Т. 84. Вып. 11. С. 155-158
  • Болдыревский П.Б., Хрыкин О.И. // Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1990. Т. 26. N 10. С. 2215-2217
  • Панкратов Е.Л., Болдыревский П.Б. // ПМТФ. 2016. Т. 57. N 4. С. 74-83
  • Левич В.Г. Физико-химическая гидродинамика. М.: Физматгиз, 1962. 699 с
  • Garcia R., Perez R. // Surf. Sci. Report. 2002. Vol. 47. P. 197-301
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.