Вышедшие номера
Термостабильность эпитаксиальных слоев GaN c разной степенью упорядоченности мозаичной структуры
Бенеманская Г.В.1, Бесюлькин А.И.1, Дунаевский М.С.1, Крыжановский А.К.1, Шмидт Н.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Методом атомно-силовой микроскопии проведены исследования термостабильности эпитаксиальных слоев GaN, выращенных методом эпитаксии из металлорганических соединений на сапфировой подложке (0001). Образцы различного качества подвергались температурному отжигу в пределах 700-950oC в условиях высокого вакуума. Показано, что степень упорядоченности мозаичной структуры эпитаксиальных слоев сильно влияет на термостабильность. Деградация поверхности для эпитаксиальных слоев с хорошо упорядоченной мозаичной структурой наблюдается при температуре ~ 950oC. Изменение морфологии поверхности слоев с плохо упорядоченной мозаичной структурой начинается при более низких температурах ~ 780oC. Работа выполнена при поддержке гранта Российского фонда фундаментальных исследований N 01-02-16802 и гранта в рамках программы N 1-107 Министерства промышленности, науки и технологий Российской Федерации.
  1. M. Razeghi, A. Rogalski. J. Appl. Phys. 79, 7433 (1996)
  2. I. Akasaki, H. Amano. Jpn. J. Appl. Phys. 36, 9A, 5393 (1997)
  3. M.A. Mastro, O.M. Kryliouk, M.D. Reed, T.J. Anderson, A. Davydov, A. Shapiro. Phys. Stat. Sol. (a) 188, 467 (2001)
  4. A.R. Smith, R.M. Feenstra. Appl. Phys. Lett. 72, 2111 (1999)
  5. L.S. Dhesi, C.B. Stagarescu, K.E. Smith, T.D. Moustakas. Phys. Rev. B 56, 10 271 (1997)
  6. V.M. Bermudez. Surf. Sci. 417, 30 (1998)
  7. R. Chierchia, T. Bottcher, S. Figge, M. Diesselberg, H. Heinke, D. Hommel. Phys. Stat. Sol. (b) 228, 403 (2001)
  8. A.G. Kolmakov, V.V. Emtsev, W.V. Lundin, V.V. Ratnikov, N.M. Shmidt, A.N. Titkov, A.S. Usikov. Physica B 308--310, 1141 (2001)
  9. N.M. Shmidt, V.V. Emtsev, A.G. Kolmakov, A.D. Kryzhanovsky, W.V. Lundin, D.S. Poloskin, V.V. Ratnikov, A.N. Titkov, A.S. Usikov, E.E. Zavarin. Nanotechnology 12, 471 (2001)
  10. Г.В. Бенеманская, Д.В. Дайнека, Г.Э. Франк-Каменская. ЖЭТФ 119, 342 (2001)
  11. Г.В. Встовский, А.Г. Колмаков, И.Ж. Бунин. Введение в мультифрактальную параметризацию структур материалов. Научно-издательский центр "Регулярная и хаотическая динамика", Ижевск (2001). 115 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.