Исследование особенностей образования микродефектов в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра методом диффузного рассеяния рентгеновских лучей
Бублик В.Т.1, Мацнев С.Ю.1, Щербачёв К.Д.1, Меженный М.В.2, Мильвидский М.Г.3, Резник В.Я.3
1Московский институт стали и сплавов (технический университет), Москва, Россия
2Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва, Россия
3Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 11 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2003 г.
С помощью метода диффузного рассеяния рентгеновских лучей (ДРРЛ) изучены особенности образования микродефектов (МД) в термически обработанных бездислокационных пластинах кремния большого диаметра вакансионного типа. Показано, что измерение ДРРЛ является эффективным методом исследования МД в монокристаллах кремния. Установлено, что в процессе низкотемпературной термообработки при 450oC в пластинах формируются характерные дефекты типа "примесных облаков", представляющие собой области, обогащенные кислородом в пределах твердого раствора с размытой когерентной границей. На последующих стадиях распада пересыщенного твердого раствора внутри этих областей образуются оксидные преципитаты, а сами эти области исчезают. В результате распада пересыщенного твердого раствора кислорода в процессе многоступенчатой термообработки в пластинах кремния формируются МД межузельного типа, залегающие в плоскостях типа 110 и обладающие несферическими полями смещений. Определены объемная плотность и размеры МД, образующихся в пластинах на разных стадиях распада. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053).
- P.H. Dederichs. J. Phys. F 3, 471 (1973)
- М.А. Кривоглаз. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. Наук. думка, Киев (1983). 470 с
- B.C. Larson, W. Schmatz. Phys. Rev. B 10, 6, 2307 (1974)
- H. Trinkaus. Phys. Stat. Sol. (b) 51, 307 (1972)
- В.К. Овчаров. Автореф. канд. дис. МИЭТ, М. (1998)
- L.A. Charniy, K.D. Scherbachev, V.T. Bublik. Phys. Stat. Sol. (a) 128, 2, 303 (1991)
- У. Вустер. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей в кристаллах. ИЛ, М. (1963). 287 с
- К.Д. Щербачев, В.Т. Бублик. Завод. лаб. 60, 8, 473 (1994)
- W.L. Bond. Acta Cryst. 13, 814 (1960)
- C. Claeys, J. Vanhellemont. 2nd Int. Autumn Meeting Gettering and Defect Engineering in the Semiconductor Technology (GADEST'87). Garzau, Germany (1987). P. 3
- И.М. Котина, В.В. Курядков, Г.Н. Мосина, С.Р. Новиков, Л.М. Сорокин. ФТТ 26, 2, 436 (1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук