Вышедшие номера
Выращивание монокристаллов β-Ga2O3 раствор-расплавным методом
Кицай А.А.1, Носов Ю.Г.1, Чикиряка А.В.1, Николаев В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: chikiryaka@mail.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 12 апреля 2023 г.
Принята к печати: 16 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 28 июня 2023 г.

Исследованы режимы выращивания кристаллов Ga2O3 из раствора оксида галлия в расплаве MoO3 в процессе выпаривания MoO3 при температуре 1050oC. Показано, что при этой температуре кристаллическая фаза Ga2O3 находится в равновесии с расплавом MoO3. В результате экспериментов получены монокристаллы β-Ga2O3 размером до 1.5 mm в поперечном сечении. Состав и структура кристаллов изучены методами рентгеновской дифракции и электронной микроскопии. Ключевые слова: оксид галлия, рост кристаллов, широкозонный полупроводник.