Оптимизация параметров электрохимического травления для повышения добротности микрорезонаторов на основе пористого кремния
Российский научный фонд, №53 - Конкурс 2021 года по мероприятию «Проведение исследований научными лабораториями мирового уровня в рамках реализации приоритетов научно-технологического развития Российской Федерации» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 21-79-30048
Гранисо Э.А.
1, Крюкова И.С.
1,2, Набиев И.Р.
1,2, Самохвалов П.С.
1,21Лаборатория нано-биоинженерии, Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (Московский инженерно-физический институт), Москва, Россия
2ЛИФТ-Центр, Сколково, Москва, Россия
Email: aleroman16@hotmail.com, i.krukova@lift.center, igor.nabiev@univ-reims.fr, p.samokhvalov@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 августа 2024 г.
В окончательной редакции: 29 октября 2024 г.
Принята к печати: 30 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 10 марта 2025 г.
Продемонстрировано двукратное увеличение добротности микрорезонаторов на основе пористого кремния за счет применения градиента времен электрохимического травления, который компенсирует постепенное снижение скорости травления в процессе изготовления образцов. Полученные результаты позволят улучшить характеристики нанофотонных устройств на основе пористого кремния для применения в оптической связи и сенсорах для диагностики и мониторинга окружающей среды. Ключевые слова: пористый кремний, пористость, скорость травления, электрохимическое травление, добротность.
- R. Vercauteren, G. Scheen, J.-P. Raskin, L.A. Francis, Sensors Actuators A, 318, 112486 (2021). DOI: 10.1016/j.sna.2020.112486
- Д.С. Довженко, И.Л. Мартынов, И.С. Крюкова, А.А. Чистяков, И.Р. Набиев, Оптика и спектроскопия, 122 (1), 87 (2017). DOI: 10.7868/S0030403417010068 [D.S. Dovzhenko, I.L. Martynov, I.S. Kryukova, A.A. Chistyakov, I.R. Nabiev, Opt. Spectrosc., 122 (1), 79 (2017). DOI: 10.1134/S0030400X17010064]
- I. Kriukova, P. Samokhvalov, I. Nabiev, Appl. Nanosci., 12 (11), 3315 (2022). DOI: 10.1007/s13204-021-02055-4
- M. Duris, M. Guendouz, N. Lorrain, P. Pirasteh, L. Bodiou, W. Raiah, Y. Coffinier, V. Thomy, J. Charrier, Opt. Mater. Express, 10 (8), 1921 (2020). DOI: 10.1364/OME.396343
- M. Gryga, D. Ciprian, P. Hlubina, Sensors, 22 (10), 3627 (2022). DOI: 10.3390/s22103627
- Z. Chen, V. Robbiano, G.M. Paterno, G. Carnicella, A. Debrassi, A.A. La Mattina, S. Mariani, A. Minotto, G. Egri, L. Dahne, F. Cacialli, G. Barillaro, Adv. Opt. Mater., 9 (20), 2100036 (2021). DOI: 10.1002/adom.202100036
- D. Dovzhenko, I. Martynov, P. Samokhvalov, E. Osipov, M. Lednev, A. Chistyakov, A. Karaulov, I. Nabiev, Opt. Express, 28 (15), 22705 (2020). DOI: 10.1364/OE.401197
- P. Lova, H. Megahd, P. Stagnaro, M. Alloisio, M. Patrini, D. Comoretto, Appl. Sci., 10 (12), 4122 (2020). DOI: 10.3390/app10124122
- I.E. Shaaban, A.S. Samra, S. Muhammad, S. Wageh, Energies, 15 (3), 1237 (2022). DOI: 10.3390/en15031237
- T.S.T. Amran, M.R. Hashim, N.K. Ali, H. Yazid, R. Adnan, Physica B, 407 (23), 4540 (2012). DOI: 10.1016/j.physb.2012.08.008
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
