Получены сверхтвердые покрытия на основе Ti-Hf-Si-N c хорошими физико- механическими свойствами свойствами, на которых выполнен сравнительный анализ физических, механических и трибомеханических характеристик. Определены и рассчитаны значения твердости, модуля упругости, величины упругого восстановления, адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа. Описаны особенности деформации и разрушения покрытий, осажденных на подложку из стали, при проведении адгезионных испытаний. Показано, что совокупность параметров, регистрируемых в процессе царапания, позволяет различать пороговые значения критической нагрузки, приводящие к разным типам (когезионному и адгезионному разрушения покрытий при трибологических испытаниях. С помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, вторичной ионной масс- спектрометрии, энергодисперсионного микроанализа была определена стехиометрия для разных серий образцов с покрытиями Ti-Hf-Si-N. Работа выполнена в рамках проекта ГФФИ Ф41.20-2011 (Украина) и проекта БРФФИ Т11К-058 (Белоруссия).
А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, В.М. Береснев, П.В. Турбин, С.Н. Дуб, Г.В. Кирик, А.Е. Дмитриенко. Письма в ЖТФ 35, 19, 103 (2009)
A.D. Pogrebnjak, M.M. Danilionok, V.V. Uglov, N.K. Erdybaeva, G.V. Kirik, V.S. Rusakov, A.P. Shypylenko, P.V. Zukovski, Yu.Zh. Tuleushev. Vacuum 83, S235 (2009)
А.Д. Погребняк, А.П. Шипиленко, Ю.Ж. Тулеушев, М.М. Даниленок, А.А. Дробышевская, В.М. Береснев, Н.К. Ердыбаева, В.В. Углов. Изв. вузов. Физика 12, 61 (2009)
V.V. Uglov, V.M. Anischik, S.V. Zlоtskij, G. Abadias, S.N. Dub. Surf. Coat. Tech. 202, 2394 (2008)
http://www.iso.org
Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstrom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 1624 (2000)
Р.А. Андриевский, А.М. Глезер. УФН 179, 4, 337, (2009)
А.Д. Погребняк, А.П. Шпак, Н.А. Азаренков, В.М. Береснев. УФН 179, 1, 35, (2009)
R.F. Zhang, A.S. Argon, S. Veprek. Phys. Rev. B 79, 245 426 (2009)
J. Musil, P. Baroch, P. Zeman. In: Plasma surface engineering and its practical applications / Ed. R. Wei. Research Singpost. Publ. (2007). P. 1--34
R.F. Zhang, S.H. Sheng, S. Veprek, Appl. Phys. Lett. 91, 031 906 (2007)
A.D. Pogrebnjak, M.Yu. Tashmetov, A.V. Pshyk, O.V. Sobol, V.M. Beresnev, P.V. Turbin, G.V. Kirik, M.V. Kaverin. Nanostructured Materials and Nanotechnology IV: Cer. Eng. Sci. Proc. 31, 7, 127 (2010)
К.Дж. Смитлз. Металлы. Справ. издан. Пер. с англ. М. (1980). 447 c
А.Д. Коротаев, В.Д. Борисов, В.Ю. Машков, C.В. Овчинников, Ю.П. Пинжин, А.Н. Тюменцев. Физическая мезомеханика 12, 79 (2009)
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук