Издателям
Вышедшие номера
Термохимическая нитридизация подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций
Нижанковский С.В.1, Крухмалёв А.А.1, Калтаев Х.Ш.-оглы1, Сидельникова Н.С.1, Будников А.Т.1, Ткаченко В.Ф.1, Добротворская М.В.1, Вовк Е.А.1, Кривоногов С.И.1, Адонкин Г.Т.1
1Институт монокристаллов НАН Украины, Харьков, Украина
Email: nizhankovsky@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Представлены результаты исследований влияния физико-химических параметров термохимической нитридизации подложек сапфира различных кристаллографических ориентаций в восстановительной атмосфере N2 + (СО,Н2) на структурные характеристики, состав и кинетику формирования слоев AlN. Определены эффективные коэффициенты диффузии азота в сапфире при T=1473-1773 K. Установлены температурные зависимости структурного совершенства, толщины и шероховатости поверхности слоев AlN, показана их существенная зависимость от состава и восстановительного потенциала атмосферы нитридизации. Предложены структурные модели согласования кристаллических решеток AlN и сапфира при термохимической нитридизации.
  • F.A. Ponce, D.P. Bour. Nature 386, 351 (1997)
  • M. Khan, A. Bhattarai, J. Kuznia, D. Olson. Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993)
  • S. Nakamura. Jpn. J. Appl. Phys. 30, L1705 (1991)
  • H. Amano, N. Sawaki, I. Akasaki, Y. Toyoda. Appl. Phys. Lett. 48, 353 (1986)
  • V. Soukhoveev, A. Volkova, V. Ivantsov, O. Kovalenkov, A. Syrkin, A. Usikov. Phys. status Solidi C 6, 333 (2009)
  • H. Fukuyama, S. Kusunoki, A. Nakomori, K. Hiraga. J. Appl. Phys. 100, 024 905 (2006)
  • T. Nagashima, M. Harada, H. Yanagi, H. Fukuyama, Y. Kumagai, A. Koukitu, K. Takada. J. Cryst. Growth 305, 355 (2007)
  • M. Adachi, K. Maeda, A. Tanaka, H. Kobatake, H. Fukuyama. Phys. Status Solidi A 208, 1494 (2011)
  • K. Ueno, J. Ohta, H. Fujioka, H. Fukuyama. Appl. Phys. Express 4, 015 501 (2011)
  • Х.Ш.-о. Калтаев, Н.С. Сидельникова, С.В. Нижанковский, А.Я. Данько, М.А. Ром, П.В. Матейченко, М.В. Добротворская, А.Т. Будников. ФТП 43, 1650 (2009)
  • J. Wu, Y. Katagiri, K. Okuura, D. Li, H. Miyake, K. Hiramatsu. J. Cryst. Growth 311, 3801 (2009)
  • T. Paskova, V. Darakchieva, P.P. Paskov, J. Birch, E. Valcheva, P.O.A. Persson, B. Arnaudov, S. Tungasmitta, B. Monemar. J. Cryst. Growth 281, 55 (2006)
  • Z. Liliental-Weber, J. Yasinski, D.N. Zaharov. Opto-Electron. Rev. 12, 339 (2004)
  • В.Ф. Ткаченко, М.А. Ром, А.А. Бибиченко, В.И. Кузнецов. ПТЭ 2, 277 (1992)
  • J. Meinschien, F. Falk, R. Hergt, H. Stafast. Appl. Phys. A 70, 215 (2000)
  • L. Lahourcade, E. Bellet-Amalric, E. Monroy. Appl. Phys. Lett. 90, 131 909 (2007)
  • Kh.Sh.-ogly Kaltaev, S.V. Nizhankovskiy, N.S. Sidelnikova, M.A. Rom, A.Ya. Dan'ko, M.V. Dobrotvorskaya, A.E. Belyayev, V.V. Strelchuk, A.F. Kolomys. Functional Mater. 18, 83 (2011)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.