"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование двумерных периодических наноструктур на поверхности плавленого кварца, полиимида и поликристаллического алмаза с помощью метода импульсной четырехлучевой интерференционной лазерной модификации
Веревкин Ю.К.1, Бронникова Н.Г.1, Королихин В.В.1, Гущина Ю.Ю.1, Петряков В.Н.1, Филатов Д.О.1, Битюрин Н.М.1, Круглов А.В.1, Левичев В.В.2
1Институт прикладной физики РАН, Нижний Новгород, Россия
2Научно-образовательный центр физики твердотельных наноструктур, Нижегородский государственный университет, Нижний Новгород, Россия
Email: verevkin@appl.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 23 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

С помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена топография субмикронных периодических структур, сформированных на поверхностях поликристаллического синтетического алмаза, и полиимидных пленок на подложках из плавленого кварца при наносекундных импульсных воздействиях ультрафиолетового излучения эксимерного XeCl лазера с длиной волны 308 nm в схеме четырехлучевой интерференционной лазерной модификации. Показана возможность прямого формирования двумерного периодического рельефа с субмикронным периодом на поверхности алмаза непосредственно импульсным лазерным испарением без применения резистора. Установлено, что в зависимости от экспозиции наблюдаются два различных механизма модификации полиимидных пленок. При экспозициях в диапазоне до 100 mJ/cm2 в полиимиде наблюдается изменение рельефа вследствие увеличения объема в местах интерференционных максимумов. При экспозиции более 100 mJ/cm2 в пленках возникают отверстия. С использованием УФ фоторезистора, экспонированного интерференционным импульсным лазерным облучением, и последующего ионного травления Ar получен периодический рельеф на поверхности плавленого кварца.
  • Fernandez A., Nguyen H.T., Britten J.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1997. Vol. B15 (3). P. 729--735
  • Fernandez A., Bedrossian P.J., Baker S.L. et al. // IEEE Trans. on Magn. 1996. Vol. 32. N 5. P. 4472--4474
  • Smith H.I. // Physica E11. 2001. P.104--109
  • Алексеев А.М., Веревкин Ю.К., Востоков Н.В. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2001. Т. 73. Вып. 4. С. 214--219
  • Savas T.A., Farhoud M., Smith H.I. et al. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 85. N 8. P. 6160--6162
  • Zheng M., Yu M., Liu Y. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. N 16. P. 2606--2608
  • Phillips H.M., Callaham D.L., Sauerbrey R. // Appl. Phys. 1992. Vol. A54. P. 158--165
  • Pelissier S., Biauc D., Andrews M.P. et al. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 32. P. 6744--6748
  • Ezaki M., Kumagai H., Toyoda K. et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1993. Vol. 32. Pt 1. N 3a. P. 1308--1311
  • Chung Yi, Shi-Woo Rhee // J. Mater. Scien. Mater. in Elect. 2001. Vol. 12. P. 697--701
  • Lee M., Moou S., Haatana M. et al. // Appl. Phys. A. 2001. Vol. 73. P. 317--321
  • Ефремов М.Д., Болотов В.В., Володин В.А. и др. // ФТП. 2002. Т. 36. N 1. С. 109--116
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.