С помощью коммерческого CFDRC software (http://www.cfdrc.com/~cfdplasma), позволяющего проводить симуляции в произвольной 3D геометрии с использованием как fluid уравнений для всех компонентов (fluid model), так и с решением кинетического уравнения для нахождения функции распределения электронов (kinetic model), проведено сопоставление кинетического и fluid расчетов при моделировании плазмы положительного столба разряда постоянного тока в кислороде. Показано, что как в локальном, так и в нелокальном режимах формирования EDF электронов ее немаксвелловость, удовлетворительно учитывается с помощью аппроксимации двумя группами электронов. Это позволяет наиболее просто учесть кинетические эффекты в рамках традиционной fluid модели, используя для этого предложенную двухтемпературную аппроксимацию неравновесной и нелокальной EDF (2 T fluid model).
Lieberman M., Lichtenberg A. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: Wiley, 1994
Kouznetsov I.G., Lichtemnebrg A.J., Lieberman M.A. // PSST. 1996. Vol. 5. P. 662--676
Bukowski J.D., Graves D.B., Vitello P.J. // Appl. Phys. 1996. Vol. 80 (5). P. 2614--2623
Lee C., Lieberman M.A. // J. Vac. Sci. Technol. 1995. Vol. A 13. N 2. P. 368
Gudmindsson J.T., Kouznetsov I.G., Patel K.K., Lieberman M.A. // J. Phys. D. 2002. Vol. 34. P. 1100
Shkarovsly I.P., Johnson T.W., Bachinski M.P. The Particle Kinetics of Plasmas. Addison--Wesley, MA, 1966
Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 11. С. 34--41. Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D. // Tech. Phys. 1999. Vol. 44. N 11. P. 1290--1297
Tsendin L.D. // Plasma Sourse Sci. Technol. 1995. Vol. 4. P. 200--211
Rozhansky A.V., Tsendin L.D. Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London; New York: Taylor \& Francis, 2001
Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 20. С. 7--14. Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D. // Tech. Phys. Lett. 2002. Vol. 28. N 10. P. 841--844
Gousset G., Ferreira C.M., Pinheiro M. et al. // J. Phys. D. 1991. Vol. 24. P. 290--300
Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1999. Vol. 27. P. 1279--1297
Gunmindsson J.T., Marakhtanov A.M., Patel K.K., Gopinath V.P., Lieberman M.A. // J. Phys. D. 2000. Vol. 33. P. 1323
Богданов Е.А., Колобов В.И., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 8. С. 13--20. Bogdanov E.A., Kolobov V.I., Kudrayvtsev A.A., Tsendin L.D. // Tech. Phys. 2002. Vol. 47. N 8. P. 946--954
Kiehlbauch M.W., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 91. N 6. P. 3539--3546
CFD Research Corporation // CFD--PLASMA User Manual--CFD Research Corporation Huntsville, 1999--2002
http://www.cfdrc.com/~cfdplasma
Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. // Plasma. Phys. Rep. 2000. Vol. 26. N 11. P. 970--990
http://www.siglo-kinema.com/ BOLSIG. Boltzmann Solver for the SIGLO-series. CPA Tolouse \& Kinema Software
Behnke J., Golobovsky Yu., Nisimov S.U., Porokhova I.A. // Contrib. Plasma. Phys. 1996. Vol. 36. N 1. P. 75--91
Ingold J.H. // Phys. Rev. E. 1997. Vol. 56. N 5. P. 5932--5944
Eliassen B., Kogelsschalz V. // J. Phys. B. 1986. Vol. 19. N 8. P. 1241--1248
Morgan W.L., Vriens L. // J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51 (10). P. 5300--5306
Dakin J.T. // J. Appl. Phys. 1986. Vol. 60 (2). P. 563--569
Harters A., van der Mullen J.A.M. // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. P. 1907--1913
Franklin R.N., Snell J. // Phys. D. 1999. Vol. 32. P. 2190--2203
Гинзбург В.Л., Гуревич А.В. // Успехи физических наук. 1960. Т. 70. С. 201--246. (Ginsburg V.L., Gurevich A.V. // Usp. Fiz. Nauk. 1960. Vol. 70. P. 201--246)
Kimura T., Oke K. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 89. N 8. P. 4240--4246
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук