Предложен метод расчета параметров области выработки катода для планарных магнетронных систем ионного распыления по среднеинтегральным характеристикам магнитного и электрического полей без детального анализа пространственных характеристик разрядной плазмы. Проведено сравнение с профилями выработки катода для прямоугольной и дисковых планарных систем ионного распыления.
Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982
Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989
Mayer M., Behrish R., Gowers C., Andrew P., Peacock A.T. // Diagnostic for Experimental Thermonuclear Fusion Reactors 2 / Ed. by Stott et al. New York: Plenum Press, 1998
Ландау Л.Д., Лившиц Е.М. Теоретическая физика. Т. 1. Механика. М.: Наука, 1988
Калашников В.К., Ким В. // Физика плазмы. 1991. Т. 17. В. 8. С. 104
Pekker L., Krasheninnikov S.I. // J. Physics of Plasmas. 2000. Vol. 7. N 1. P. 382--389
Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук