"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности формирования пленок высшего силицида марганца на кремнии
Камилов Т.С., Кабилов Д.К., Самиев И.С., Хуснутдинова Х.Х., Муминов Р.А., Клечковская В.В.1
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, Москва, Россия
Email: tdai_kts@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 января 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Исследованы особенности формирования пленок высшего силицида марганца (ВСМ) на кремнии и их граница раздела. На основе анализа морфологии поверхности и тонкого переходного слоя на границе раздела ВСМ-Si предполагается, что рост пленок ВСМ методом реактивной диффузии Mn обусловлен механизмом пар-жидкость-кристалл.
  • Hou Q.R., Wang Z.M., He Y.J. // Appl. Phys. A-Material Science and Processing. 2004. P. 1--5
  • Mahan J.E. // Thin Solid Films. 2004. Vol. 461 (1). P. 152--159
  • Zaitsev V.K. // CRC Handbook of Thermoelectrics / Ed. D.M. Rome. New York; London: CRC Press, 1995. P. 299--309
  • Камилов Т.С., Хусанов А.Ж., Бахадырханов М.К. и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2002. N 6. С. 100--103
  • Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
  • Клечковская В.В., Камилов Т.С., Адашева С.И., Худайбердиев С.С., Муратова В.И. // Кристаллография. 1994. Т. 39. N 5. С. 894--899
  • Чернышев А.А. Основы надежности полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Радио и связь, 1988. 256 с
  • Медведев С.А. Введение в технологию полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1970. 540 с
  • Тонкие пленки: Взаимная диффузия и реакция // Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982. 676 с
  • Барыбин А.А., Сидоров В.Г. Физико-технологические основы электроники. СПб.: Лань, 2001. 272 с
  • Самсонов Г.В., Дворина Л.А. и др. Силициды. М.: Металлургия, 1979. 447 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.