"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Оптические характеристики плазмы поперечного объемного разряда в смеси гелия и хлористого водорода
Шуаибов А.К.1, Шимон Л.Л.1, Шевера И.В.1, Сабов И.И.1
1Ужгородский национальный университет, Ужгород, Украина
Email: ishev@univ.uzhgorod.ua
Поступила в редакцию: 4 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.

Приводятся результаты исследования эмиссионных характеристик поперечного объемного разряда в смеси He-HCl = 10-1 при суммарном давлении 1-8 kPa. Объем плазмы составлял 18x2.2x1 cm3 при межэлектродном расстоянии d=2.2 cm и напряжении заряда основной накопительной емкости 5-10 kV. Эмиссионные характеристики разряда исследовались в спектральной области 500-1000 nm. Разряд представляет интерес для использования в импульсном плазмохимическом реакторе сухого травления. Плотность радикалов хлора (атомарных) в плазме оптимизировалась по давлению исходной рабочей смеси He-HCl с использованием относительной интенсивности излучения спектральной линии атома хлора 837(5) nm. Непрямой контроль за плотностью молекулярных радикалов возможно проводить и по излучению не хлорсодержащих возбужденных продуктов распада молекул HCl (спектральная линия 656 nm Halpha). PACS: 52.70.Kz
  • Василяк Л.М., Костюченко С.В., Красночуб А.В., Кузьменко М.Е. // ЖПС. 1998. Т. 65. N 2. С. 302--304
  • Шуаибов А.К. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 9. С. 1--6
  • Королев Ю.Д., Месяц Г.А., Ярош А.М. // Химия высоких энергий. 1987. Т. 21. N 5. С. 464--468
  • Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. 2001. Т. 30. N 2. С. 85--105
  • Шуаибов А.К. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 23. С. 30--34
  • Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. // Физика плазмы. 1999. Т. 25. N 9. С. 640--645
  • Шевера В.С., Шуаибов А.К., Неймет Ю.Ю. // Патент Украины на изобретение N 17169 А. Заяв. 24.01.1994. Опубл. 31.10.1997. БИ. N 5
  • Стриганов А.П., Одинцова Г.А. Таблицы спектральных линий атомов и ионов. Справочник. М., 1982
  • Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 8. С. 48--53
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.