"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Термическая стабильность аморфных тонких Ta-Si-N-пленок в системе металлизации Au/GaN
Кучук А.В., Кладько В.П., Мачулин В.Ф., Piotrowska A.1
1Institute of Electron Technology, Warsaw, Poland
Email: kuchuk@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 9 ноября 2005 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.

Трехкомпонентные барьерные Ta-Si-N-пленки были получены с помощью реактивного высокочастотного магнетронного распыления мишени Ta5Si3 в разряде газовой смеси Ar-N2. Пленки тестировались как диффузионные барьеры между Au и GaN. Для определения эффективности их использования в качестве антидиффузионных слоев использовались методы просвечивающей электронной микроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и рентгеноструктурного анализа. Продемострирована возможность работы оптимального по свойствам диффузионного барьера (Ta34Si25N41) в системе металлизции Au/GaN при температуре свыше 800oC. Обсуждается корреляция состава пленок, микроструктуры, удельного электросопротивления, термической стабильности и антидиффузионных свойств. PACS: 81.07.-b
  • Morcos H., Stite S., Gao G.B. et al. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 76. N 3. P. 1363
  • Piotrowska A. // Electron Technology. 1991. Vol. 24. N 3--4. P. 3
  • Nicolet M.-A. // Thin Solid Films. 1978. Vol. 52. P. 415
  • Kolawa E., Molarius J.M., Nieh C.W. et al // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990. Vol. 8. P. 3006
  • Fisher D., Scherg T., Bauer T. et al. // Microelectron. Eng. 2000. Vol. 50. P. 459
  • Kim D.J., Kim Y.T., Park J.-W. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. P. 4847
  • Suh Y.-S., Heuss G., Misra V. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2004. Vol. 22. P. 175
  • Kuchuk A., Kaminska E., Piotrowska A. et al. // Thin Solid Films. 2004. Vol. 459. P. 292
  • Kuchuk A., Ciosek J., Piotrowska A. et al. // Vacuum. 2004. Vol. 74. P. 195
  • Kaminska E., Piotrowska A., Golaszewska K. et al. // J. All. Comp. 2004. Vol. 371. P. 129
  • Nicolet M.-A. // Defect and Diffusion Forum. 1997. Vol. 143--147. P. 1271
  • Nicolet M.-A. // Microelectron. Eng. 2001. Vol. 55. P. 357
  • Nicolet M.-A. // Appl. Surf. Sci. 1995. Vol. 91. P. 269
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.