"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Интерференционный контроль асферических компонентов объектива для нанолитографии
Вознесенский Н.Б., Гаврилов Е.В., Жевлаков А.П., Кирилловский В.К., Орлов П.В.1
1Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.

Развиты методики и схемы контроля формы EUV-зеркал на основе дифракционного интерферометра с компьютерной обработкой интерферограмм, обеспечивающие погрешность измерений менее 0.001 длины волны в видимой области спектра. PACS: 85.85.+j
  • Andreev A.A., Limpouch J., Voznesensky N.B. et al. // Proc. SPIE. Vol. 5196. P. 128--136
  • Voznesensky N.B., Zhevlakov A.P. // Proc. SPIE. Vol. 5582. P. 136--144
  • Линник В.П. // Тр. ГОИ. Л., 1934. Т. X. Вып. 95
  • Иванова Т.А., Кирилловский В.К. Проектирование и контроль оптики микроскопов. Л.: Машиностроение, 1984. 228 с
  • Ли К. Исследование неоднородности волнового фронта, образованного в дифракционном интерферометре. Автореферат канд. дисс. СПбГУ ИТМО, 2004
  • Voznesensky N.B. // Proc. SPIE. Vol. 3791. P. 147--157
  • Voznesensky N.B. // Opt. Memory and Neural Networks. 2000. Vol. 9. N 3. P. 175--183
  • Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976. 262 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.