"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Характеристики цилиндрического магнетрона и реактивное напыление в нем пленок бинарных соединений
Гончаров А.А.1, Демчишин А.В.1, Демчишин А.А.1, Костин Е.Г.1, Миченко В.А.1, Стеценко Б.В.1, Терновой Е.Г.1, Щуренко А.И.1
1Институт физики НАН Украины, Киев, Украина
Email: stetsen@iop.kiev.ua
Поступила в редакцию: 18 января 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Экспериментально изучены характеристики цилиндрического магнетрона: зависимости напряжения разряда, давления и интенсивности спектров излучения плазмы от скорости натекания реагирующего газа, тока разряда. На этом магнетроне методом реактивного напыления получены пленки нитрида (TiN) и диоксида титана (TiO2). Изучены спектры пропускания и отражения пленок в видимом диапазоне длин волн. Из данных по пропусканию пленок TiO2 методом Валеева определены показатели преломления и коэффициенты поглощения в диапазоне длин волн 350-800 mm, а также их пористость. По формуле Урбаха оценено изменение края фундаментального поглощения с толщиной пленки. PACS: 84.40.Fe, 85.40.Sz
  • Munz W.D., Heimbach J., Reineck S.R. // Thin Solid Films. 1981. Vol. 86. P. 175--181
  • Wicaksana D., Kobayashi A., Kinbara A. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1992. Vol. 10. N. 4. P. 1479--1482
  • Tang H., Prasad K., Sanjin\`es R. et al. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. N 4. P. 2042--2047
  • Panachenko O.A., Goncharov A.A., Demchishin A.V. et al. // Problems of Atomic Science and Technology. Plasma Physics. 2005. Vol. 11. N 2. P. 170--172
  • Владимиров В.В., Горшков В.Н., Мотрич В.А. и др. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 5. С. 91--102
  • Валеев А.С. // Опт. и спектр. 1963. Т. 15. Вып. 4. С. 500--511.
  • Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И. и др. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965. 335 с
  • Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. М.: Наука, 1964. 567 с
  • Harra D.J. // J. Vac. Sci. Technol. 1976. Vol. 13. N 1. P. 471--474.
  • Gupta A.K., Leck J.H. // Vacuum. 1975. Vol. 25. N 8. P. 362--372
  • Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 730 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.