"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Магнитоактивность пленок пермаллоя, выращенных в зоне рекомбинационного горения низкотемпературной плазмы
Александров В.А.1, Веселов А.Г.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал, Саратов, Россия
Email: AlexandrovVA@gmail.com
Поступила в редакцию: 20 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2008 г.

Исследована зависимость магнитных свойств пленок пермаллоя от интенсивности бомбардировки подложки при синтезе пленки в области рекомбинационного горения плазмы тлеющего разряда. Обнаружена однозначная связь свойств пленок от интенсивности рекомбинационного горения. Изменение формы области рекомбинации позволили найти оптимальные условия синтеза пленок толщиной 30-60 nm при неоднородности магнитных свойств порядка 1% на холодных подложках, площадь которых сравнима с размерами зоны эрозии мишени. PACS: 68.55.-a, 78.66.-w
  • Helmerson U., Lattemann M., Bohlmark J., Ehiasarian A.P., Gudmundsson J.T. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 513. P. 1--24
  • Grigoryev E.V., Savenko V.N., Sheglov D.V., Matveev A.V., Cherepanov V.A., Zolkin A.S., Kolesov B.A. // CARBON. 1998. Vol. 36. P. 581--585
  • Бурылин Е.И., Веселов А.Г., Веселов А.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 7. С. 31--34
  • Бурылин Е.И., Веселов А.Г., Джумалиев А.С. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 5. С. 130--132
  • Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.