Моделирование профилей распределения по глубине атомов кобальта, хрома и меди с энергией 40 keV при имплантации дозами от 1016 до 1017 ion/cm2 в матрицу диоксида титана проведено с использованием программы DYNA, алгоритм которой основан на эффектах парных столкновений внедряемых ионов с атомами подложки, приводящих к динамическому изменению элементного состава приповерхностного слоя облучаемого материала, а также с учетом поверхностного распыления. Полученные результаты сопоставлены со стандартным статистическим распределением, рассчитанным по TRIM-алгоритму. PACS: 61.70.Tm, 61.80.Mk, 79.20.Nc
Matsumoto Y., Murakami M., Shono T., Hasegawa T., Fukumura T., Kawasaki M., Ahmet P., Chikyow T., Koshihara S., Koinuma H. // Science. 2001. Vol. 291. P. 854--856
Zheng S.K., Wang T.M., Wang C., Xiang G. // Nucl. Instr. Meth. In Phys. Res. B. 2002. Vol. 187. P. 479--484
Tsuji H., Sagimori T., Kurita K., Gotoh Y., Ishikawa J. // Jurf. Coat. Technol. 2002. Vol. 158--159. P. 208--213
Kim D.H., Yang J.S., Kim Y.S., Kim D.-W., Noh T.W., Bu S.D., Kim Y.-W., Park Y.D., Pearton S.J., Jo Y., Park J.-G. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 83. P. 4574--4576
Shutthananda V., Thevuthasan S., Heald S.M., Droubay T., Engelhard M.H., Kaspar T.C., McCready D.E., Saraf L., Chambers S.A., Mun B.S., Hamdan N., Nachimuthu P., Taylor B., Sears R.P., Sinkovic B. // Appl. Phys. Lett. 2004. Vol. 84. P. 4466--4468
Khaibullin R.I., Ibragimov Sh.Z., Tagirov L.R., Popok V.N., Khaibullin I.B. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2007. Vol. 257. P. 369--373
Ziegler J.F., Biersak J.P., Littmark U. The stopping and range of ions in solids. N.Y.: Pergamon, 1996. 192 p
Hole D.E., Stepanov A.L., Townsend P.D. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1999. Vol. 148. P. 1054--1058
Konoplev V.M. // Radiat. Eff. Lett. 1986. Vol. 87. P. 207--213
Konoplev V.M. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1989. Vol. 43. P. 159--161
Konoplev V.M., Vicanek M., Gras-Marti A. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1992. Vol. 67. P. 574--579
Stepanov A.L., Zhikharev V.A., Hole D.E., Townsend P.D., Khaibullin I.B. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 2000. Vol. 166--167. P. 26--30
Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. Cambridge: Univ. Press, 1994. 280 p
Nastasi M., Mayer J.W., Hirvonen J.K. Ion-solid interactions: Fundamentals and applications. Cambridge: Univ. Press, 1996. 578 p