"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Диагностика индуктивной плазмы методом диодной лазерной спектроскопии поглощения
Большаков А.А., Круден Б.А.1
1NASA Ames Research Center, Moffett Field, CA, USA
Email: alexandb@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2007 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2008 г.

Диодный лазер с вертикальным резонатором (VCSEL) использовался как источник перестраиваемого излучения для измерений усредненной по радиусу температуры газа в индуктивном плазменном реакторе. Сканировалось допплеровское уширение поглощения метастабильных атомов Ar на линии 763.51 nm в аргоновой и аргонно-азотной плазме (3, 45 и 90% N2 в Ar) при давлении 0.5-70 Pa и мощности 100 и 300 W. Результаты были сопоставлены с вращательной температурой азота N2. Разница в усредненных вращательной и допплеровской температурах связана с неоднородным распределением как температуры, так и термометрических частиц (Ar* и N*2) в пространстве. Расчет этих распределений произведен в рамках неравновесной гидродинамической модели плазмы. Целью работы являлась разработка методики бесконтактных измерений температуры и концентраций различных частиц в реакторе при помощи миниатюрного сенсора. PACS: 52.70.Kz, 52.65.-y
  • Большаков А.А., Ганеев А.А., Немец В.М. // Усп. хим. 2006. Т. 75. С. 322--338; http://arxiv.org/physics/0607078
  • Bol'shakov A.A., Cruden B.A., Sharma S.P. // Proc. SPIE. 2004. Vol. 5339. P. 415--426; http://arxiv.org/physics/0608113
  • Zybin A., Koch J., Wizemann H.D., Franzke J., Niemax K. // Spectroshim. Acta. Part B. 2005. Vol. 60. P. 1--11
  • Anklam T.M., Berzins L.V., Braun D.G., Haynam C., Meier T., McClelland M.A. // Surf. Coat. Technol. 1995. Vol. 76--77. P. 681--686
  • Tachibana K., Harima H., Urano Y. // J. Phys. B. 1982. Vol. 15. P. 3169--3178
  • Baer D.S., Hanson R.K. // J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer. 1992. Vol. 47. P. 455--475
  • de Regt J.M., Tas R.D., van der Mullen J.A.M. // J. Phys. D. 1996. Vol. 29. P. 2404--2412
  • Beverini N., Gobbo G.D., Genovesi G.L., Maccarrone F., Strumia F., Paganucci F., Turco A., Andrenucci M. // IEEE J. Quant. Electron. 1996. Vol. 32. P. 1874--1881
  • Porokhova I.A., Golubovskii Yu.B., Csambal C., Helbig V., Wilke C., Behnke J.F. // Phys. Rev. E. 2002. Vol. 65. P. 046401
  • Suzuki M., Katoh K., Nishimiya N. // Spectrochim. Acta. Part A. 2002. Vol. 58. P. 2519--2531
  • Uhl R., Franzke J., Haas U. // Appl. Phys. B. 2001. Vol. 73. P. 71--74
  • Timmermans E.A.H., van de Sande M.J., van der Mullen J.J.A.M. // Plasma Sources Sci. Technol. 2003. Vol. 12. P. 324--334
  • Leonhardt D., Eddy C.R., Shamamian V.A., Fernsler R.F., Butler J.E. // J. Appl. Phys. 1998. Vol. 83. P. 2971--2979
  • Sadeghi N., van de Grift M., Vender D., Kroesen G.M.W., de Hoog F.J. // Appl. Phys. Lett. 1997. Vol. 70. P. 835--837
  • Miclea M., Kunze K., Musa G., Franzke J., Niemax K. // Spectrochim. Acta. Part B. 2001. Vol. 56. P. 37--43
  • Baer D.S., Chang H.A., Hanson R.K. // J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer. 1993. Vol. 50. P. 621--633
  • Aramaki M., Okumura Y., Goto M., Muto S. // Jpn. J. Appl. Phys. 2005. Vol. 44. P. 6759--6763
  • Zappe H.P., Hess M., Moser M., Hovel R., Gulden K., Gauggel H.-P., di Sopra F.M. // Appl. Opt. 2000. Vol. 39. P. 2475--2479
  • Sanders S.T., Wang J., Jeffries J.B., Hanson R.K. // Appl. Opt. 2001. Vol. 40. P. 4404--4415
  • Андреев С.Н., Балтаков Д.Ф., Очкин В.Н., Савинов С.Ю., Спиридонов М.В., Цхай С.Н. // Тез. Докл. XXIII Съезда по спектроскопии. Звенигород, 2005. С. 57--58
  • Silver J.A., Kane D.J. // Meas. Sci. Technol. 1999. Vol. 10. P. 845--852
  • Vogel P., Ebert V. // Appl. Phys. B. 2001. Vol. 72. P. 127--135
  • Schlosser E., Fernholz T., Teichert H., Ebert V. // Spectrochim. Acta. Part A. 2002. Vol. 58. P. 2347--2359
  • Баранов И.Ю., Демидов В.И., Колоколов Н.Б. // Опт. и спектроск. 1981. Т. 51. С. 571--574
  • Ferreira C.M., Loureiro J., Ricard A. // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57. P. 82--90
  • Boulos M.I., Fauchais P., Pfender E. Thermal Plasmas. Fundamentals and Applications. N.Y.: Plenum Press, 1994
  • Bol'shakov A.A., Cruden B.A., Sharma S.P. // Plasma Sources Sci. Technol. 2004. Vol. 13. P. 691--700
  • Kim J.S., Rao M.V.V.S., Cappelli M.A., Sharma S.P., Meyyappan M. // Plasma Sources Sci. Technol. 2001. Vol. 10. P. 191--204
  • Roux F., Michaud F., Vervloet M. // J. Mol. Spectrosc. 1993. Vol. 158. P. 270--277
  • Cruden B.A., Rao M.V.V.S., Sharma S.P., Meyyappan M. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 91. P. 8955--8964
  • Лавров Б.П. // "Химия плазмы". Сб. науч. ст. Вып. 11 / Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Энергоатомиздат, 1984. С. 45--92
  • Драчев А.И., Лавров Б.П. // Теплофиз. выс. темп. 1988. Т. 26. С. 147--154
  • Cheah S.-L., Lee Y.-P., Ogilvie J.F. // J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer. 2000. Vol. 64. P. 467--482
  • Velazco J.E., Kolts J.H., Setser D.W. // J. Chem. Phys. 1978. Vol. 69. P. 4357--4373
  • Kolts J.H., Setser D.W. // J. Chem. Phys. 1978. Vol. 68. P. 4848--4859
  • Кузнецова Л.А., Кузьменко Н.Е., Монякин А.П., Кузяков Ю.Я., Пластинин Ю.А. Электронные переходы в двухатомных молекулах. 1. Силы электронных переходов, силы осцилляторов и времена жизни возбужденных состояний. ГСССД 12-80. М.: Изд-во стандартов, 1980
  • Kiehlbauch M.W., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 89. P. 2047--2057
  • Hebner G.A. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. P. 2624--2636
  • Cruden B.A., Rao M.V.V.S., Sharma S.P., Meyyappan M. // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 81. P. 990--992
  • Amorin J., Maciel H.S., Sudano J.P. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1991. Vol. 9. P. 362--365
  • Kortshagen U., Gibson N.D., Lawler J.E. // J. Phys. D. 1996. Vol. 29. P. 1224--1236
  • Бочкова О.П., Чернышева Н.В. // Опт. и спектроск. 1971. Т. 31. С. 677--681
  • Capitelli M., Ferreira C.M., Gordiets B.F., Osipov A.I. Plasma Kinetics in Atmospheric Gases. N.Y.: Springer-Verlag, 2000
  • Bacri J., Medani A. // Physica B \& C. 1982. Vol. 112. P. 101--118
  • Kiehlbauch M.W., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 91. P. 3539--3546
  • Hash D.B., Bose D., Rao M.V.V.S., Cruden B.A., Meyyappan M., Sharma S.P. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. P. 2148--2157
  • Ramamurthi B., Economou D.J. // Plasma Sources Sci. Technol. 2002. Vol. 11. P. 324--332
  • Rauf S., Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. P. 2805--2813
  • McMillin B.K., Zachariah M.R. // J. Appl. Phys. 1995. Vol. 77. P. 5538--5544
  • Makabe T., Perovic Z.L. // Appl. Surf. Sci. 2002. Vol. 192. P. 88--114
  • Augustyniak E., Filimonov S., Borysow J. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 86. P. 4767--4771
  • Walters P.E., Barber T.E., Wensing M.W., Winefordner J.D. // Spectrochim. Acta. Part B. 1991. Vol. 46. P. 1015--1020
  • Zybin A., Schnurer-Patschan C., Niemax K. // Spectrochim. Acta. Part B. 1992. Vol. 47. P. 1519--1524
  • Raab C., Bolle J., Oberst H., Eschner J., Schmidt-Kaler F., Blatt R. // Appl. Phys. B. 1998. Vol. 67. P. 683--688
  • Severn G.D., Edrich D.A., McWilliams R. // Rev. Sci. Instrum. 1998. Vol. 69. P. 10--15
  • Smith B.W., Quentmeier A., Bolshov M., Niemax K. // Spectrochim. Acta. Part B. 1999. Vol. 54. P. 943--958
  • Marago O.M., Fazio B., Gucciardi P.G., Arimondo E. // Appl. Phys. B. 2003. Vol. 77. P. 809--815
  • Burns I.S., Hult J., Kaminski C.F. // Appl. Phys. B. 2004. Vol. 79. P. 491--495
  • Galbacs G., Galbacs Z., Axner O., Geretovszky Z. // Spectrochim. Acta. Part B. 2005. Vol. 60. P. 299--306
  • Bol'shakov A.A., Sharma S.P., Meyyappan M. // ICP Inf. Newslett. 2002. Vol. 27. P. 784--785.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.