Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Разрядные и эмиссионные характеристики плазменного источника электронов на основе разряда в скрещенных Ex H полях с различным материалом катода

Достанко А.П.¹, Голосов Д.А.¹

¹Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, Minsk, Belarus

Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, Minsk, Belarus

Email: dmgolosov@mail.ru

Поступила в редакцию: 8 декабря 2008 г.

Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Разработан и исследован плазменный источник электронов (ПИЭЛ) на основе разряда в скрещенных Ex H полях. Рабочий газ подается в квазизамкнутую разрядную камеру ПИЭЛ, в которой реализованы условия для эффективной ионизации рабочего газа в осевом магнитном поле. Для формирования потока электронов используется положительно смещенный дополнительный электрод или пространственный заряд ионного источника. Получены зависимости вольт-амперных и эмиссионных характеристик плазменного источника электронов для различных комбинаций материала катода (медь, титан и графит) и рабочего газа (Ar и He). Установлено, что разряд ПИЭЛ устойчиво существует при использовании в качестве материала катода Cu и Ti и потоке рабочего газа 2-20 ml/min для Ar и 6-60 ml/min - для He. Эффективность извлечения электронов данного типа ПИЭЛ достигала единицы при потоке Ar более 6 ml/min для Cu - катодной вставки и более 8 ml/min для Ti катодной вставки. Энергетическая эффективность при потоке рабочего газа Ar более 10 ml/min составила 4 mA/W для Ti-катода и 2.56 mA/W - для Cu-катода. Установлена низкая эффективность данного типа ПИЭЛ при использовании He в качестве рабочего газа. Установлено, что соответствующий выбор пары рабочий газ - материал катода, обеспечивающей более высокие значения коэффициента распыления, позволяет повысить эффективность ПИЭЛ. PACS: 52.80.Sm, 29.25.Bx

Маишев Ю.П. // Микроэлектроника. 1977. N 3. С. 31--36
Kaufman H.R. Advances in Electronics and Electron Physics / Ed. by L. Marton. NY: Academic Press, 1974. Vol. 36. P. 265
Rehn L.R. // NASA Report. 1976. CR 135102
Жирков И.С., Бурдовицин В.А., Окс Е.М., Осипов И.В. // ЖТФ. 2006. Т. 76. Вып. 10. С. 128--131
Reader P.D., White D.R., Isaacson G.C. // J. Vac. Sci. Techn. 1978. Vol. 15. N 3. P. 1093--1095
Голосов Д.А., Свадковский И.В., Завадский С.М. // Электронная обработка материалов. 2002. N 6. С. 66--74
Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966. 564 с
Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров И.Е. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1977. 384 с
Одиноков В.В. Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании. М.: Высш. шк., 1981. 55 с
Cobine J.D. Gaseous Conductors. NY: Dover, 1958. 355 p
Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель