"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Стимулирование вторичной отрицательной ионной эмиссии имплантацией ионов щелочных металлов в поверхностный слой твердого тела и последующего его нагрева
Алиев А.А.1, Исаханов З.А.1, Мухтаров З.Э.1, Рузибаева М.К.1
1Институт электроники им. У.А. Арифова АН Республики Узбекистан, Ташкент, Республика Узбекистан
Email: isakhanov@aie.uz
Поступила в редакцию: 6 февраля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2009 г.

Предложен новый метод стимулирования вторичной отрицательной ионной эмиссии, основанный на имплантации ионов щелочных металлов в поверхностный слой твердого тела и последующем его нагреве при температуре, обеспечивающей оптимальное покрытие поверхности атомами-активаторами (около 0.5 монослоя), щелочными атомами. Показано, что путем подбора дозы имплантаци щелочных ионов (1018-1019 cm-3) и температуры нагрева поверхности исследуемого образца (500-900oC) можно достичь такой степени возобновляемого покрытия поверхности атомами-активаторами, при котором ее работа выхода становится самой минимальной: evarphi=1.9 eV --- для молибдена и 2.1 eV --- для меди. Установлено, что при таких подобранных величинах дозы имплантации (облучения) и температуры нагрева образца можно за счет диффузии атомов цезия из объема на поверхность достичь такой степени покрытия поверхности, которая сохраняется за время непрерывного распыления поверхности пучком ионов цезия.
  • Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. М.: Мир, 1984
  • Krohn V.E.J. // Appl. Phys. 1962. Vol. 33. N 12. P. 3523
  • Horilg G., Mokker P., Moller Z. // Physik. 1968. Bd 210. S. 213
  • Muller M., Horlig G. // IEPE. Trans. Nucl. Set. 1069. Vol. 10. N 3
  • Абдуллаева М.К., Аюханов А.Х. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1971. Т. 3. С. 404
  • Черепин В.Т. Ионный зонд. Киев: Наук. думка, 1976
  • Попов В.Ф. Автореферат докт. дисс. Л., 1991
  • А.С. N 1374924 от 15.10.1987. Способ определения минимальной работы выхода металло-пленочной системы / А.А. Алиев, Н.Н. Флянц
  • Алиев А.А., Махмудов О.А., Флянц Н.Н. Патент Узбекистана N IDP 4416 от 20.03.1996
  • Aliev A.A., Makhmudov O.A. // Vacuum. 1998. Vol. 51. N 3
  • Алиев А.А., Хакимов А. Патент Узбекистана N 4600 от 13.06.1997
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.