"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние газа-носителя на процесс газотранспортной эпитаксии нитрида галлия из металлорганических соединений
Лундин В.В.1, Заварин Е.Е.1, Сизов Д.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2005 г.

Исследовано влияние водорода и азота на скорости роста и травления нитрида галлия при эпитаксии из металлорганических соединений. На основании полученных результатов высказаны предположения о роли водорода и азота в процессах, протекающих на поверхности эпитаксиального слоя.
  • Sakharov A.V., Lundin W.V., Krestnikov I.L. et al. // Proceedings of IWN. 2000
  • Yamaguchi S., Kariya M., Kosaki M. et al. // J.Appl. Phys. 2001. V. 89. N 12. P. 7820--7824
  • Schon O., Schineller B., Heuken M. et al. // J. Cryst. Growth. 1998. V. 189/190. P. 335--339
  • Nakamura S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1991. V. 30. L 1705
  • Wang H.X., Amijima Y., Ishihama Y. et al. // J. Cryst. Growth. 2001. V. 233. P. 681--686
  • Лундин В.В., Сахаров А.В., Цацульников А.Ф. и др. // ФТП. 2004. Т. 38. В. 6. С. 705--709
  • Liu S.S., Stevenson D.A. // J. of the Electrochem. Soc. 1978. V. 125. P. 1161
  • Глинка Н.Л. Общая химия. Л., 1983. 704 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.