"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Просветляющие свойства алмазоподобных углеродных пленок, нанесенных на монокристаллы Cd1-xZnxTe (x~ 0.04)
Сизов Ф.Ф.1, Клюй Н.И.1, Лукьянов А.Н.1, Савкина Р.К.1, Смирнов А.Б.1, Евменова А.З.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарёва НАН Украины
Email: alex_tenet@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 30 октября 2007 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2008 г.

Изучены оптические свойства алмазоподобных углеродных пленок (АУП), полученных методом плазмохимического осаждения на монокристаллах Cd1-xZnxTe (x~ 0.04). Для интерпретации эллипсометрических данных предложена трехслойная модель преломляющей системы: АУП --- полупроводниковая подложка с переходными слоями на границе между пленкой и подложкой. Выявлен просветляющий эффект для созданной преломляющей системы в ИК-области спектра. Показано, что полученная структура устойчива к действию термоциклирования и ультразвуковой обработки. PACS: 78.66.Hf, 81.05.Dz, 81.05.Uw, 81.40.Tv
  • Rogalski A. Infrared Photon Detectors. Bellingham. WA: SPIE Optical Engineering Press, chapter 3, 2002
  • Piotrowski J., Rogalski A. // Infrared Physics \& Technology. 2004. V. 46. P. 115--131
  • Robertson J. // Mater. Sci. Eng. 2002. V. R37. P. 129--281
  • Литовченко В.Г. // ФХХТ. 2004. N 1. С. 9--14
  • Клюй Н.И., Литовченко В.Г., Лукьянов А.Н., Неселевская Л.В., Сариков А.В., Дыскин В.Г., Газиев У.Х., Сеттарова З.С., Турсунов М.Н. // ЖТФ. 2006. Т. 76. В. 5. С. 122--126
  • Klyui N.I., Litovchenko V.G., Rogin A.G., Dikusha V.N., Kittler M., Seifert W. // Solar energy materials \& Solar Cells. 2002. V. 72. P. 597--603
  • Klyui N.I., Litovchenko V.G., Lukyanov A.N., Neselevska L.V., Osovskiy V.D., Yaroschuk O.V., Dolgov L.A. // Ukr. Phys. J. 2006. V. 51. N 7. P. 710--714
  • Evtukh A.A., Litovchenko V.G., Klyui N.I., Marchenko R.I., Kudzinovski S.Yu. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1999. V. 17. N 2. P. 679--683
  • Кизель В.А. Отражение света. М.: Наука, 1973
  • Tseng P.Y., Fu C.B., Kuo M.C., Yang C.S., Huang C.C., Chou W.C., Shih Y.T., Hsin H.Y., Lan S.M., Lan W.H. // Materials Chemistry and Physics. 2002. V. 78. P. 529--533
  • Основы элипсометрии / Под ред. А.В. Ржанова. Новосибирск, 1979. С. 424
  • Klocek D. Handbook of infrared optical materials. New York: Dekker editor., 1991
  • Qiang Li, Wanqi Jie // Semiconductor Science \& Technology. 2006. V. 21. P. 72--75
  • Mescher M.J. // J. Electron. Mater. 1999. V. 28. P. 700--704
  • Мынбаев К.Д., Иванов-Омский В.И. // ФТП. 2003. Т. 37. В. 10. С. 1153--1178
  • Двуреченский А.В., Ремесник В.Г., Рязанцев И.А., Талипов Н.Х. // ФТП. 1993. Т. 27. С. 168.
  • Bhattacharyya D., Chaudhuria S., Pal A.K. // Vacuum. 1995. V. 46. N 3. P. 309--313
  • Suk-Ho Hong, Jorg Winter. // 33-=SUP=-rd-=/SUP=--=SUB=--=/SUB=- Conference on Plasma Physics. ECA. Rome, 2006. V. 301. P. O-5.004
  • Savkina R.K., Smirnov A.B., Sizov F.F. // Semiconductor Science \& Technology. 2007. V. 22. P. 97--102.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.