Вышедшие номера
Алмазоподобный гидрогенизированный углерод, легированный медью: спектральная интерферометрия
Иванов-Омский В.И.1, Криворотов И.Н.1, Ястребов С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Описан метод определения оптических параметров геометрически неоднородной (клиновидной) пленки. Метод применен для анализа спектров отражения и пропускания слоев аморфного гидрогенизированного углерода, осажденных на подложки из плавленого кварца в процессе магнитоплазменного (магнетронного) сораспыления графитовой и медной мишеней в атмосфере аргон-водородной плазмы (20%H2 и 80%Ar). Анализ оптических констант, полученных в результате расчета, позволил установить, что медь, входя в матрицу аморфного углерода, формирует нанокомпозит с различными размерами металлических включений - от единиц (в диапазоне концентраций от x=0-20 ат.% меди) до десятков ангстрем (x>20%), что проявляется в формировании характерной для поверхностных плазменных колебаний электронного газа в сферических металлических частицах полосы оптического поглощения, с максимумом, лежащим вблизи 2 эВ.
  1. Ivanov-Omskii V.I., Abaev M.I., Yastrebov S.G. MRS 1994. Spring Meeting Symposium Proc. T.: Novel Forms of Carbon II. Paper T7.61
  2. Аверьянов В.Л., Базиева Н.Е., Мастеров В.Ф. и др. Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 12. С. 77
  3. Novel H. Phys. Rev. B. 1993. Vol. 48. N 24. P. 1817
  4. Swanepoel R. J. Phys. E. 1983. Vol. 16. P. 1214
  5. Swanepoel R. S.-Afr. Tydskr. Fis. 1989. Vol. 12. N 4. P. 148
  6. Smith F.W. J. Appl. Phys. 1984. Vol. 55. P. 764
  7. Muik K., Basa D.K., Smith F.W., Coderman R. Phys. Rev. B. 1987. Vol. 35. P. 8089
  8. Петров Ю.И. Физика малых частиц. М.: Наука, 1982. 359 с
  9. Kreibig U. J. Phys. F. 1974. Vol. 4. P. 999
  10. Johnson P.B., Christy R.W. Phys. Rev. B. 1972. Vol. 6. N 12. P. 4370
  11. Ruppin R. J. Appl. Phys. 1986. Vol. 59. N 4. P. 1355
  12. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / Под ред. А.В. Ржанова. М.: Мир, 1981. 583 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.