"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эволюция морфологии поверхности при росте пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами
Новак А.В.1, Новак В.Р.1
1Национальный исследовательский университет МИЭТ, Москва, Зеленоград Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Зеленоград
Email: novak-andrei@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Изучена эволюция морфологии поверхности при росте пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами (пленки HSG-Si) на основе использования скейлингового анализа изображений поверхности, полученных посредством атомно-силовой микроскопии. Из корреляционных функций высота-высота найдено, что показатель шероховатости alpha=0.92± 0.03 и не зависит от толщины пленки. Получены зависимости ширины интерфейса w(t), корреляционной длины xi(t) и длины волны lambda(t) от времени осаждения t и найдены скейлинговые коэффициенты beta, 1/z, p.
  • Watanabe H., Aoto N., Adachi S. et al. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 7. P. 3538--3543
  • Ino M., Miyano J., Kurogi H. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1996. V. 14. N 2. P. 751--756
  • Новак А.В., Никольский Ю.В., Фокичев С.Н. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 16. С. 1--8
  • Gerritsen E., Emonet N., Caillat C. et al. // Solid State Electron. 2005. V. 49. P. 1767--1775
  • Chen J.-H., Lei T.-F., Landheer D. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2007. V. 46. P. 6586--6588
  • Sun E., Su F.H., Chen C.H., Chen M.J. // Appl. Surf. Sci. 2010. V. 256. N 16. P. 5021--5024
  • Kuo H.P., Lam S., Sheng X. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2006. V. 24. N 2. P. 1030--1034
  • Yang H.-N., Zhao Y.-P., Chan A. et al. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. N 7. P. 4224--4232
  • Pelliccione M., Karabacak T., Gaire C. et al. // Phys. Rev. B. 2006. V. 74. P. 125 420
  • Pelliccione M., Lu T.-M. // Evolution of Thin Film Morphology. Modeling and Simulation. New York: Springer, 2008
  • Meakin P. // Fractals scaling and growth far from equilibrium. Cambridge University Press, 1998
  • Новак А.В., Новак В.Р. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 19. С. 32--39
  • Barabasi A.-L., Stanley H.E. // Fractal concepts in surface growth. Cambridge, England: Cambridge University Press, 1995
  • Yang H.-N., Zhao Y.-P. et al. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 76. N 20. P. 3774--3777
  • Lai Z.-W., Das Sarma S. // Phys. Rev. Lett. 1991. V. 66. N 18. P. 2348--2351
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.