Издателям
Вышедшие номера
Теория сканирующей емкостной микроскопии
Балагуров Д.Б.1, Ключник А.В.1, Лозовик Ю.Е.1
1Институт спектроскопии Российской академии наук, Троицк, Московская обл., Россия
Email: lozovik@isan.
Поступила в редакцию: 3 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Рассматривается теория сканирующей емкостной микроскопии (СЕМ), применяющейся для исследования двумерного распределения неоднородностей в пленках, расположенных над металлическими подложками, а также рельефа проводящих поверхностей. Предложена реалистичная модель СЕМ, которая допускает аналитическое решение. Построено явное решение обратной задачи восстановления профиля неоднородностей в СЕМ. Подробно проанализированы эффекты, которые могли бы наблюдаться в связи с возбуждением собственных колебаний в системе пленка--игла зондового микроскопа. Данная работа была выполнена при поддержке РФФИ и программ "Поверхностные атомные структуры" и "Физика твердотельных наноструктур".
  • Y. Martin, D.W. Abraham, H.K. Wickramasinghe. Appl. Phys. Lett. 52, 13, 1103 (1988)
  • C.C. Williams, W.P. Hough, S.A. Rishton. Appl. Phys. Lett. 55, 2, 203 (1989)
  • A.C. Diebold, M.R. Kump, J.J. Kopanski, D.G. Seiler. J. Vac. Sci. Techol. B14, 1, 196 (1996)
  • G. Neubauer, A. Erickson, C.C. Williams, J.J. Kopanski, M. Rogers, D. Adderton. J. Vac. Sci. Techol. B14, 1, 426 (1996)
  • A. Erickson, L. Sadwick, G. Neubauer, J.J. Kopanski, D. Adderton, M. Rogers. J. Electr. Mat. 25, 2, 301 (1996)
  • R.C. Barrett, C.F. Quate. J. Appl. Phys. 70, 5, 2725 (1991)
  • S.H. Tessmer, P.I. Glicofridis, R.C. Ashoori, L.S. Levitov, M.L. Melloch. Nature 392, 51 (1998)
  • H. Drexler, D. Leonard, W. Hansen, J.P. Kotthaus, P.M. Petroff. Phys. Rev. Lett. 73, 16, 2252 (1994).
  • G. Medeiros-Ribeiro, D. Leonard, P.M. Petroff. Appl. Phys. Lett. 66, 14, 1767 (1995)
  • v S. Lanyi, J. Torok, P. v Rehuv rek. Rev. Sci. Instrum. 65, 7, 2258 (1994)
  • K. Goto, K. Hane. Rev. Sci. Instrum. 68, 1, 120 (1997)
  • В.А. Быков, В.В. Лосев, С.А. Саунин. Труды Всерос. совещ. "Зондовая микроскопия-99". Нижний Новгород (1999)
  • S. Watanabe, K. Hane, T. Ohye, M. Ito, T. Goto. J. Vac. Sci. Technol. B11, 5, 1774 (1993)
  • v S. Lanyi, J. Torok, P. v Rehuv rek. J. Vac. Technol. 14, 2, 892 (1996)
  • K. Goto, K. Hane. J. Appl. Phys. 84, 8, 4043 (1998)
  • Yu.E. Lozovik, A.V. Klyuchnik. The Dielectric Function of Condensed Systems / Ed. by L.V. Keldysh et al. Elsevier Science Publisher, B.V. (1987)
  • В.А. Диткин, А.П. Прудников. Интегральные преобразования и операционное исчисление. Физматгиз (1961).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.