Издателям
Вышедшие номера
Влияние предосаждения Si1-xGex слоя на рост SiGe/Si(001) самоформирующихся островков
Востоков Н.В.1, Дроздов Ю.Н.1, Красильник З.Ф.1, Лобанов Д.Н.1, Новиков А.В.1, Яблонский А.Н.1, Stoffel M.2, Denker U.2, Schmidt O.G.2, Горбенко О.М.3, Сошников И.П.4
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Max-Planck-Institut fur Festkorperforschung, Stuttgart, Germany
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
4Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: dima@ipm.sci-nnov.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.

Исследован рост Ge(Si) самоформирующихся островков на напряженном Si1-xGex слое (0<x<20%). Обнаружено, что размеры и поверхностная плотность островков увеличиваются с ростом содержания Ge в Si1-xGex слое. Рост поверхностной плотности островков связывается с увеличением шероховатости поверхности после осаждения SiGe слоя. Рост размеров островков объясняется уменьшением толщины смачивающего слоя, которое вызвано дополнительной упругой энергией, накопленной в SiGe слое, и увеличением диффузии Si из Si1-xGex слоя в островки. Увеличение доли поверхности, занятой островками, приводит к большему упорядочению взаимного расположения островков. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 02-02-16792 и 02-02-17846-а), INTAS NANO N 01-444 и BRHE Program.
  • B. Voigtlander. Surf. Sci. Rep. 43, 127 (2001)
  • U. Denker, M. Stoffel, O.G. Schmidt, H. Sigg. Appl. Phys. Lett. 82, 454 (2003)
  • B. Cho, T. Schwartz-Selinger, K. Ohmori, David G. Cahill. Phys. Rev. B 66, 195 407 (2002)
  • P. Sutter, M.G. Lagally. Phys. Rev. Lett. 84, 4637 (2000)
  • N.V. Vostokov, S.A. Gusev, Yu.N. Drozdov, Z.F. Krasil'nik, D.N. Lobanov, N. Mesters, M. Miura, L.D. Moldavskaya, A.V. Novikov, J. Pascual, V.V. Postnikov, Y. Shiraki, V.A. Yakhimchuk, N. Usami, M.Ya. Valakh. Phys. Low-Dim. Struct. 3/4, 295 (2001)
  • M. Meixner, E. Scholl, M. Schmidbauer, H. Raidt, R. Koler. Phys. Rev. B 64, 245 307 (2001)
  • Christian Teichert. Phys. Rep. 365, 335 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.