"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование заданных профилей концентрации внедренных атомов и радиационных дефектов при использовании монохроматических пучков ускоренных ионов
Гусинский Г.М.1, Матюков А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.

Предложен метод формирования пучков ускоренных ионов с энергетическим спектром, отвечающим условию образования в облучаемых образцах заданного профиля внедренных атомов и радиационных дефектов. Проведен строгий математический расчет профилей пленочных поглотителей энергии, формирующих пучки легких и тяжелых ионов с необходимым энергетическим спектром из моноэнергетических ускоренных пучков.
  • Зорин Е.И., Павлов П.В., Тетельбаум Д.И. Ионное легирование полупроводников. М.: Энергия, 1975. 128 с
  • Козлов В.А., Козловский В.В. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 769--795
  • Zigler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. Vol. 1. Pergamon Press, 1985
  • Schiott H.E., Thomsen P.V. // Rad. Eff. 1972. Vol. 14. P. 39--47
  • Калашников Н.П., Ремизович В.С., Рязанов М.И. Столкновения быстрых заряженных частиц в твердых телах. М.: Атомиздат, 1980
  • Краснов М.Л. Интегральные уравнения. М.: Наука, 1975
  • Забрейко П.П., Кошелев А.И., Красносельский И.А. и др. Интегральные уравнения. М.: Наука, 1968
  • Смирнов В.И. Курс высшей математики. Т. IV. Ч. I. М.: Наука, 1974
  • Смирнов В.И. Курс высшей математики. Т. III. Ч. I. М.: Наука, 1974
  • Владимиров В.С. Обобщенные функции в математической физике. М.: Наука, 1979
  • Blaugrund A.E. // Nucl. Phys. 1966. Vol. 88. P. 501--512
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.