Применение импульсного магнетронного распыления для получения покрытий системы AIN-TiB2-TiSi2
Береснев В.М., Торяник И.Н., Соболь О.В., Погребняк А.Д., Кропотов А.Ю., Стервоедов Н.Г., Немченко У.С., Колесников Д.А., Клименко С.А., Турбин П.В.1,2
1Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина
2Научный физико-технологический центр Министерства образования и науки Украины и НАН Украины, Харьков, Украина
Email: beresnev-scpt@yandex.ru
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.
Импульсным магнетронным распылением получены покрытия из композиционной керамики AlN-TiB2 с добавкой TiSi2. Размер областей упорядочения после осаждения покрытия составил порядка 1 nm, что относит структурное состояние к аморфноподобному. Отжиги при температурах 900 и 1300oC сопровождались кристаллизацией с размерами кристаллитов 11 и 25 nm соответственно. Кристаллизация, однако, не приводит к резкому ухудшению механических свойств благодаря образованию фаз с высокой энтальпией (AlB2 при 900oC и AlB2 и Al2O3 при 1300oC). Твердость покрытия при этом изменялась от 15.1 GPa в исходном состоянии до 11 GPa после отжига в 1300oC, что позволило повысить стойкость к износу лезвийного инструмента с такими покрытиями до 1.32 раза при температуре в зоне контакта 1300oC.
Кузмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с
Sarakinos К., Alami J., Konstantinidis S. // Surf. Coat. Technol. 2010. Vol. 24. P. 1661--1684
Лавренко В.А., Панасюк А.Д., Подчерняева И.А. // Порошковая металлургия. 2008. N 1/2. С. 196--203
Musil J., Zeman P. // Sol. Stat. Phenomena. 2007. Vol. 127. P. 31--36
Ватолин Н.А., Пастухов Э.А. Дифракционные исследования строения высокотемпературных расплавов. М.: Наука, 1980. 188 с
Фирсов С.А., Рогуль Т.Г. // Доп. НАН Украiни. 2007. N 4. С. 110--114
Musil J. Properties of hard nanocompositie thin films, in Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, properties and Performance. Ch. 5 / Eds S. Zhang, A. Nasar. London: Imperial College Press, 2007. P. 281--328
Холлек X. Двойные и тройные карбидные и нитридные системы переходных металлов: Справ. М.: Металлургия, 1988. 319 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук