"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Метод контроля оптических характеристик тонких прозрачных пленок с использованием угловой оптической рефлектометрии
Алиев И.М., Зинченко С.П., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н., Павленко А.В.1,2
1Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, Ростов-на-Дону, Россия
Email: кovtun.ap@mail.ru
Поступила в редакцию: 28 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.

Предложен способ определения толщины и показателя преломления материала пленок на оптически однородной подложке, основанный на исследовании угловой зависимости интенсивности отраженного от пленки зондирующего излучения H-поляризации. Анализ показал, что в семействе кривых отражения для прозрачных пленок различной толщины, но с одинаковым показателем преломления существует угол, при котором они пересекаются в одной точке (вырождаются) и тангенс этого угла равен коэффициенту преломления материала пленки. Возможность применения данного метода демонстрируется на примере исследования серии пленок BSN/MgO(001).
  • Зинченко С.П., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 11. С. 128--133
  • Швец В.А., Дворецкий С.А., Михайлов Н.Н. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 11. С. 41--44
  • Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. М: Наука, 1982. 616 с
  • Борн М., Вольф Э. Принципы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с
  • Кузьминов Ю.С. Сегнетоэлектрические кристаллы для управления лазерным излучением. М.: Наука, 1982. 400 с
  • Поль Р.В. Оптика и атомная физика. М.: Наука, 1966. 552 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.