Ранее авторами было показано, что отжиг диоксида кремния в бескислородной среде приводит к образованию кластеров кремния вблизи поверхности. Механизм формирования кластеров кремния таким способом изучен недостаточно, однако установлено, что скорость образования нанокластеров и их размер зависят от содержания точечных дефектов в диоксиде кремния и содержания примесей, например гидроксильных групп. В продолжение этих исследований изучено изменение содержания точечных дефектов в пленках диоксида кремния в процессе отжига. Для оценки изменения содержания точечных дефектов до и после отжига предложена новая методика. Предложена модель трансформации точечных дефектов в диоксиде кремния в нанокластеры кремния в результате высокотемпературного отжига. Работа выполнена с использованием оборудования ЦКП "Материаловедение и диагностика в передовых технологиях" при поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение о предоставлении субсидии N 14.621.21.0007 id RFMEFI62114X0007), а также при частичной финансовой поддержке РФФИ в рамках гранта N 15-03-06206 А.
Л.А. Бакалейников, М.В. Заморянская, Е.В. Колесникова, В.И. Соколов, Е.Ю. Флегонтова. ФТТ 46, 6, 989 (2004)
М.В. Заморянская, Е.В. Иванова, А.А. Ситникова. ФТТ 53, 7, 1399 (2011)
E.V. Kolesnikova, M.V. Zamoryanskaya. Physica B 404, 23-24, 4653, (2009)
Е.В. Иванова, А.А. Ситникова, О.В. Александров, М.В. Заморянская. ФТП 50, 6, 807 (2016)
J. Dutta, H. Hofmann, C. Hollestein, H. Hofmeister, In: Nanoparticles and nanostructured films: preparation, characterization and application / Ed. J.H. Fendler. Wiley-VCH (1998). Ch. 8. P. 173
R.A. Bley, S.M. Kauzlarich. In: Nanoparticles and nanostructured films: preparation, characterization and application / Ed. J.H. Fendler. Wiley-VCH (1998). Ch. 5. P. 101
B.M. Monroy, G. Santana, J. Fandio, A. Ortiz, J.C. Alonso. J. Nanosci. Nanotechnol. 6, 12, 3752 (2006)
P.RJ Wilson, T. Roschuk, K. Dunn, E. N. Normand, E. Chelomentsev, O.HY Zalloum, J. Wojcik, P. Mascher. Nanoscale Res. Lett. 6, 1, 168 (2011)
M.V. Zamoryanskaya. Solid State Phenom. 156--158, 487 (2010)
E.V. Ivanova, M.V. Zamoryanskaya. Solid State Phenom. 205-206, 457 (2014)
М.В. Заморянская, С.Г. Конников, А.Н. Заморянский. Приборы и техника эксперимента 4, 62 (2004)
L.N. Skuja, A.R. Silin. Phys. Status Solidi A 70, 1, 43 (1982)
C.M. Gee, M. Kastner. J. Non-Cryst. Solids 40, 1-3, 577 (1980)
H.-J. Fitting, T. Barfels, A.N. Trukhin, B. Schmidt, A. Gulans, A. Von Czarnovski. J. Non-Cryst. Solids 303, 2, 218 (2002)
П.А. Куликов. Термическая диссоциация соединений. Металлургия, М. (1969). 573 c
Е.А. Тутов, М.Н. Павленко, И.В. Протасова, В.М. Кашкаров. Письма в ЖТФ 28, 17, 45 (2002)
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук