Издателям
Вышедшие номера
Влияние легирования на свойства аморфного гидрогенизированного кремния, облученного фемтосекундными лазерными импульсами
Денисова К.Н.1, Ильин А.С. 1, Мартышов М.Н. 1, Воронцов А.С.1
1Физический факультет, Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: as.ilin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 13 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Проведен сравнительный анализ влияния фемтосекундного лазерного облучения на структуру и проводимость нелегированного и легированного бором аморфного гидрогенизированного кремния. Было обнаружено, что процесс образования нанокристаллов в аморфной матрице под действием фемтосекундного лазерного облучения для нелегированных образцов аморфного гидрогенизированного кремния начинается при меньших плотностях энергии лазерного излучения, чем для легированных образцов. Различная проводимость нелегированных и легированных образцов аморфного гидрогенизированного кремния до их фемтосекундного облучения становится примерно одинаковой при облучении с плотностями энергии 150-160 mJ/cm2. DOI: 10.21883/0000000000
  • D.L. Staebler, C.R. Wronski. J. Appl. Phys. 51, 3262 (1980)
  • C.R. Wronski, R.W. Collins. Solar Energy, 77, 877 (2004)
  • M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret, J.P. Kleider. J. Appl. Phys. 109, 023713 (2011)
  • J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Solids 299-302, 599 (2002)
  • А.Г. Казанский, П.А. Форш, Е.И. Теруков, J.P. Kleider. ФТП 44, 513 (2010)
  • P.A. Forsh, A.G. Kazanskii, H. Mell, E.I. Terukov. Thin Solid Films 383, 251 (2001)
  • M.V. Chukichev, P.A. Forsh, W. Fuhs, A.G. Kazanskii. J. Non-Cryst. Solids 338-340, 378 (2004)
  • K. Lips, P. Kanschat, D. Will, C. Lerner, W. Fuhs. J.Non-Cryst. Solids 227-230, 1021 (1998)
  • G. Juska, K. Arlauskas, N. Nekrasas, J. Stuchlik, X. Niquille, N. Wyrsch. J. Non-Cryst. Solids 299-302, 375 (2002)
  • А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП 34, 373 (2000)
  • П.А. Форш, Л. А. Осминкина, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. ФТП 38, 626 (2004)
  • S.D. Sundaram, E. Masur. Nature. Mater. 1, 217 (2002)
  • J. Shieh, Z. Chen, B. Dai, Y. Wang, A. Zaitzev, C. Pan. Appl. Phys. Lett. 85, 1232 (2004)
  • X.C. Wang, H.Y. Zheng, C.W. Tan, F. Wang, H.Y. Yu, K.L. Pey. Opt. Express 18, 19379 (2010)
  • B.K. Nayak, M.C. Gupta. Appl. Phys. A 89, 663 (2007)
  • А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.А. Форш, М.В. Хенкин, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, А.В. Кукин, Е.И. Теруков, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП 46, 769 (2012)
  • V.A. Volodin, A.S. Kachko, A.G. Cherkov, A.V. Latyshev, J. Koch, B.N. Chichkov, A.Y. Rhozanov. JETP Lett. 93, 665 (2011)
  • В.А. Володин, А.С. Качко. ФТП 45, 268 (2011)
  • A.V. Emelyanov, A.G. Kazanskii, M.V. Khenkin, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Appl. Phys. Lett. 101, 081902 (2012)
  • M.V. Khenkin, D.V. Amasev, A.O. Dudnik, A.V. Emelyanov, P.A. Forsh, A.G. Kazanskii, R. Drevinskas, M. Beresna, P. Kazansky. J. Nanoelectron. Optoelectron. 9, 728 (2015)
  • А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Н.П. Кутузов, В.Л. Лясковский, П.А. Форш, М.В. Хенкин. Письма в ЖТФ, 40, 1 (2014)
  • A.V. Emelyanov, M.V. Khenkin, A.G. Kazanskii, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Thin Solid Films, 556, 410 (2014)
  • M. Khenkin, A. Emelyanov, A. Kazanskii, P. Forsh, M. Beresna, M. Gecevicius, P. Kazansky. Can. J. Phys. 92, 883 (2014)
  • А.В. Емельянов, П.А. Перминов, П.А. Форш, С.В. Заботнов, А.Г. Казанский, М.В. Хенкин, П.К. Кашкаров. Наноматериалы и нанотехнологии 1, 40 (2012)
  • A.V. Emelyanov, A.G. Kazanskii, P.A. Forsh, D.M. Zhigunov, M.V. Khenkin, N.N. Petrova, A.V. Kukin, E.I. Terukov, P.K. Kashkarov. J. Nanoelectron. Optoelectron. 10, 649 (2015)
  • М.В. Хенкин, А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.А. Форш, П.К. Кашкаров, Е.И. Теруков, Д.Л. Орехов, P. Roca i Cabarrocas. ФТП, 47, 1283 (2013)
  • А.В. Емельянов, Е.А. Константинова, П.А. Форш, А.Г. Казанский, М.В. Хенкин, Н.Н. Петрова, Е.И. Теруков, Д.А. Кириленко, Н.А. Берт, С.Г. Конников, П.К. Кашкаров. Письма в ЖЭТФ 97, 536 (2013)
  • М.В. Хенкин, А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, П.А. Форш. Вест. РГРТУ 42, 47 (2012)
  • А.Г. Казанский, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин. ФТП 45, 518 (2011)
  • P. Roca i Cabarrocas, A. Fontcuberta i Morral, Y. Poissant. Thin Sol. Films 403-404, 39 (2002).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.