Издателям
Вышедшие номера
Распределение интенсивности трехволновой дифракции от дислокационных эпитаксиальных слоев в обратном пространстве
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Экспериментально иссследована трехволновая дифракция рентгеновских лучей в сильнонарушенных эпитаксиальных слоях GaN и ZnO. Построены карты распределения интенсивности в обратном пространстве в координатах qtheta и qvarphi для наиболее интенсивной трехволновой комбинации (1010)/(1011) путем последовательных theta и varphi-сканирования. Обнаружена нетривиальная форма theta-сечений этих контуров вдали от varphi-центра отражения, неодинаковая для разных образцов. Для theta-кривых в центре отражения наблюдается единый пик, аппроксимируемый функцией Войта со степенным спадом интенсивности на крыльях, при этом закон спаданий (--4.5 - --5.0) заметно больше, чем для аналогичнх кривых двухволновой дифракции, и не зависит от плотности и распределения дислокаций в слоях. В некоторых пленках имеет место крупноблочная структура, при этом из распределения в обратном пространстве следует, что эти блоки развернуты друг относительно друга вокруг нормали к поверхности, что заставляет предположить между ними малоугловые границы, состоящие исключительно из краевых дислокаций. Работа выполненаа при частичной поддержке гранта РФФИ N 16-02-00702. DOI: 10.21883/0000000000
  • J.M. Sasaki, L.P. Cardoso, C. Campos, K.J. Roberts, G.F. Clark, E. Pantos, M.A. Sacilott. J. Appl. Phys. 79, 3492 (1996)
  • D. Korytar, C. Ferrary, Z. Bochnicek. J. Appl. Cryst. 31, 570 (1998)
  • R.O. Freitas, T.E. Lamas, A.A. Quivy, S.L. Morelhao. Phys. Status Solidi A 204, 2548 (2007)
  • J. Blasing, A. Krost. Phys. Status Solidi A 201, 17 (2004)
  • J. Blassing, A. Krost, J. Hertkorn. J. Appl. Phys. 105, 033504 (2009)
  • M. Grundman, M. Scheibe, M. Loren, J. Blasing, A. Krost. Phys. Status Solidi A 251, 850 (2014)
  • Р.Н. Кютт. Письма в ЖТФ 36, 15, 14 (2010)
  • Р.Н. Кютт. ЖТФ 81, 5, 81 (2011)
  • R.N. Kyutt, M.P. Scheglov. J. Appl. Cryst. 46, 861 (2013)
  • Р.Н. Кютт. ЖТФ 87, 578 (2017)
  • E. Rossmanith. J. Appl. Cryst. 33, 1405 (2000).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.