Издателям
Вышедшие номера
Структура и свойства пленок SiOx, полученных химическим травлением лент аморфного сплава
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), A, 15-01-04553
Федоров В.А. 1, Березнер А.Д. 1, Бескровный А.И. 2, Фурсова Т.Н. 3, Павликов А.В. 4, Баженов А.В. 3
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
2Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, Россия
3Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка, Россия
4Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: fedorov@tsutmb.ru, qwert1009@mail.ru, beskr@nf.jinr.ru, fursova@issp.ac.ru, pavlikov@vega.phys.msu.ru, bazhenov@issp.ac.ru.
Поступила в редакцию: 19 сентября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Исследовано строение и физические свойства аморфных пленок SiOx, полученных химическим травлением аморфного ленточного сплава на основе железа. Нейтронная дифракция, а также атомно-силовая и электронная микроскопия показали, что полученные визуально прозрачные пленки имеют аморфную структуру, обладают диэлектрическими свойствами, их морфология схожа с морфологией опалов. Образцы до и после их термической обработки были исследованы методами дифференциально-сканирующей калориметрии, рамановской и ИК-спектроскопии. Установлено, что отжиг пленок в воздушной среде при температуре 1273 K приводит к изменению их химического состава: образуется аморфное соединение SiO2 с включениями нанокристаллов SiO2 (кристобалит). Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 15-01-04553-a). DOI: 10.21883/0000000000
  • A.L. Shabalov, M.S. Feldman. Thin Solid Films 110, 215 (1983)
  • V.A. Dan'ko, S.O. Zlobin, I.Z. Indutnyi, I.P. Lisovskyy, V.G. Litovchenko, E.V. Mikhailovskaya, P.E. Shepelyavyi, E.V. Begun. Mod. Electron. Mater. 1, 16 (2015)
  • Xiao-Bo Ma, Wei-Jia Zhang, Wei Zhang, Qiang Ma, Zhi-Qiang Fana, Deng-Hao Maa, Zhao-Yi Jianga, Yu-Long Zhanga. Thin Solid Films 624, 21 (2017)
  • W. Boonkosum, D. Kruangam, B. Ratwises, T. Sujaridchai, S. Panyakeow, S. Fujikake, H. Sakai. J. Non-Cryst. Solids 198, 1226 (1996)
  • D.E. Vazquez Valerdi, J.A. Luna Lopez, G. Garci a Salgado, A. Beni tez Lara, J. Carrillo Lopez, N.D. Espinosa Torres. Procedia Engineering 87, 168 (2014)
  • D.G. Howells, B.M. Henry, Y. Leterrier, J.-A.E. M nson, J. Madocks, H.E. Assender. Surf. Coat. Technol. 202, 3529 (2008)
  • W. Weibull. ASME J. Appl. Mechanics 297 (1951)
  • S.O. El hamali, W.M. Cranton, N. Kalfagiannis, X. Hou, R. Ranson, D.C. Koutsogeorgis. Opt. Lasers Eng. 80, 45 (2016)
  • F.J. Himpsel, F.R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J.A. Yarmoff, G. Hollinger. Phys. Rev. B: Condens. Matter 38, 6084 (1988)
  • А.В. Баженов, А.В. Горбунов, К.А. Алдушин, В.М. Масалов, Г.А. Емельченко. ФТТ 44, 1026 (2002)
  • P.G. Pai, S.S. Chao, Y. Takagi, G. Lucovsky. J. Vacuum Sci. \& Technology A 4, 689 (1986)
  • B. Shokri, M. Abbasi Firouzjah, S.I. Hosseini. ISPC-19, P3.6.10 (2009)
  • В.Г. Ильвес, М.Г. Зуев, С.Ю. Соковнин, А.М. Мурзакаев. ФТТ, 57, 2439 (2015)
  • С.Н. Шамин, В.Р. Галахов, В.И. Аксенова, А.Н. Карпов, Н.Л. Шварц, З.Ш. Яновицкая, В.А. Володин, И.В. Антонова, Т.Б. Ежевская, J. Jedrzejewski, E. Savir, I. Balberg. ФТП 44, 550 (2010)
  • R.I. Mamalimov, A.I. Shcherbakov, A.E. Chmel. J. Appl. Spectroscopy 80, 308 (2013)
  • M. Osana, V. Fornes, J.V. Garsia-Ramos, C.J. Serna. Phys. Chem. Miner. 14, 527 (1987). (1987)
  • A. Pavlikov, E. Konstantinova, V. Timoshenko. Phys. Status Solidi C 8, 1928 (2011)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.