Проведен теоретический и экспериментальный анализ температурных полей при импульсном токовом нагреве дорожки металлизации на поверхности полупроводниковой пластины. Показано, что любые скачкообразные изменения мощности нагрева возбуждают в пластине изгибные колебания, амплитуда которых в пределах области безопасной работы полупроводниковой структуры пропорциональна величине скачка. Найден коэффициент затухания всего волнового пакета Gamma=1103 s-1 и различных частотных составляющих возбуждаемого излучения для кремниевой пластины толщиной 300 mum.
Калитенко В.А., Кучеров И.Я., Перга В.М. // УФЖ. 1986. Т. 31. Вып. 8. С. 2006--2008
Орлов А.М., Пирогов А.В., Емельянова Т.Г. // Неорган. материалы. 1993. Т. 29. Вып. 11. С. 1559--1562
Лыков А.В. Теория теплопроводности. М.: Высшая школа, 1967. 600 с
Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. М.: Наука, 1987. 248 с
Гликман Е.Э., Иванов Э.Д., Осипов И.А. // Микроэлектроника. 1990. Т. 19. Вып. 2. С. 132--138
Домаркас В.И., Кажис Р.-И.Ю. Контрольно-измерительные пьезоэлектрические преобразователи. Вильнюс: Минтис, 1975. 255 с
Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1988. 1232 с
Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1984. 831 с
Красильников В.А., Крылов В.В. Введение в физическую акустику. М.: Наука, 1984. 400 с
Орлов А.М., Скворцов А.А., Пирогов А.В. и др. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 5. С. 57--63
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук