"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование слоев кубического карбида кремния на кремнии непрерывными и импульсными пучками ионов углерода
Баязитов Р.М.1, Хайбуллин И.Б.1, Баталов Р.И.1, Нурутдинов Р.М.1
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского Казанского научного центра РАН, Казань, Россия
Email: bayaz@kfti.knc.ru
Поступила в редакцию: 5 ноября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Исследована структура и инфракрасное поглощение в слоях кубического карбида кремния (beta-SiC), сформированных путем непрерывной высокодозной имплантации ионов углерода (C+) в кремний (E=40 keV, D=5·1017 cm-2) с последующей обработкой имплантированных слоев мощным наносекундным импульсным ионным пуском (С+, tau=50 ns, E=300 keV, W=1.0-1.5 J/cm2). Просвечивающая электронная микроскопия и электронная дифракция свидетельствуют о формировании крупнозернистого поликристаллического слоя beta-SiC с размером зерна до 100 nm. Характерной особенностью сформированных слоев является дендритная поверхностная морфология, что объясняется кристаллизацией из расплава, сильно переохлажденного относительно точки плавления beta-SiC.
  • Иванов П.А., Челноков В.Е. // ФТП. 1995. Т. 29. С. 1921--1943
  • Harris C.I., Savage S., Konstantinov A. et al. // Appl. Surf. Sci. 2001. Vol. 184. P. 393--398
  • Баранова Е.К., Демаков К.Д., Старинин К.В. и др. // ДАН СССР. 1971. Т. 200. С. 869--870
  • Герасименко Н.Н., Кузнецов О.Н., Лежейко Л.В. и др. // Микроэлектроника. 1974. Т. 3. С. 467--468
  • Lindner J.K.N. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2001. Vol. 178. P. 44--54 и ссылки в ней
  • Liu Z.Q., Liu J.F., Feng J.Y. et al. // Mater. Lett. 2001. Vol. 50. P. 275--278
  • Kantor Z., Foqarassy E., Grob A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 69. P. 969--971.
  • Durupt P., Barbier D., Laugier A. // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Energy Beam-Solid Interaction and Transient Thermal Processing / Ed. J.C.C. Fan, N.M. Johnson. North-Holland, 1984. Vol. 23. P. 747--752
  • Hodgson R., Baglin J.E.E., Pal R. et al. // Appl. Phys. Lett. 1980. Vol. 37. P. 187--189
  • Chen L.J., Hung L.S., Mayer J.W. et al. // Appl. Phys. Lett. 1982. Vol. 40. P. 595--597
  • Bayazitov R., Batalov R.I. // J. Phys. 2001. Vol. 13. P. L113--L118
  • Bayazitov R., Zakirzyanova L., Khaibullin I. et al. // Vacuum. 1992. Vol. 43. P. 619--622
  • Isakov I., Kolodii V., Opekunov M. et al. // Vacuum. 1990. Vol. 42. P. 159--162
  • Piekoszewski J., Werner Z., Szymczyk W. // Vacuum. 2001. Vol. 63. P. 475--481
  • Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. New York: Pergamon Press, 1985. (http: // www.srim.org)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.