Синтезированы нанокристаллические магнитомягкие тонкие пленки с высоким содержанием Ta (10 wt%) с использованием метода реактивного радиочастотного магнетронного распыления и последующего отжига. Показано, что микроструктура и магнитные свойства зависят от величины парциального давления азота при распылении и температуры последующего отжига. При отжиге аморфных пленок фомируются нанокристаллы alpha-Fe, свойства и взаимодействия которых определяют параметры пленок. Так, уменьшение размеров alpha-Fe гранул в пленке до величин, меньших длины ферромагнитного обменного взаимодействия, приводит к резкому улучшению магнитомягких свойств пленок. Установлена роль ионов азота в формировании структуры нанокристаллов alpha-Fe и одноосной магнитной анизотропии Fe-Ta-N пленок. Определены технологические режимы осаждения и термической обработки соединений Fe-Ta-N, при которых синтезируются нанокристаллические тонкие пленки Fe-Ta-N с высокими магнитомягкими характеристиками (Bs=1.6 T, Hc=0.2 Oe и mu1(1 MGz)=3400).
Kohomoto O. // IEEE Trans. Magn. 1996. Vol. MAG-27. N 4. P. 3640
Wang S., Kryder M.H. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. P. 5625
Wang S., Kryder M.H. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. P. 5134
Jonen R.E., Williams J.Jr. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. P. 5134
Viala B., Minor M.K., Barnard J.A. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. N 7. P. 3941
Terada N., Hoshi Y., Naoe M., Yamanaka S. // IEEE Trans. Magn. 1984. Vol. MAG-20. P. 1451
Watanabe Y., Oura H., Onazato N. // IEEE Trans. Magn. 1990. Vol. MAG-26. P. 1170
Gao C., Doyle W.D. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 73. N 10. P. 1530
Takahashi M., Shoji H., Shimatsu T., Komaba H., Wakiyama T. // IEEE Trans. Magn. 1993. Vol. MAG-26. P. 6547
Viala B., Minor M.K., Barnard J.A. // IEEE Trans. Magn. 1996. Vol. MAG-32. N 5. P. 3506
Pehkle R.D., Elliott F. // AIEE Trans. 1960. Vol. 218. P. 1088
Nakauishi K., Shimiz O., Yoshida S. // IEEE Trans. Magn. 1992. Vol. MAG-28. P. 7128
Buschow K.H.J. Handbook of Magnetic Materials. Vol. 10, D. Elsevier Scince B.V., 1997. P. 433
Herzer G. // IEEE Trans. Magn. 1990. Vol. 26. N 5. P. 1937
Hasegawa N., Saito M. // IEEE Trans. Magn. Japan. 1991. Vol. MAG-6. N 1. P. 91
Cullity B.D. Introduction to Magnetic Materials. Addison--Wesley, Reading, MA. 1973
Van de Riet E., Klaassens W., Roozeboom F. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 81. N 2. P. 806
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2017 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук