"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эффект самосопряженной перфорации аморфных слоев карбида кремния
Карачинов В.А.1, Торицин С.Б.1, Карачинов Д.В.1
1Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия
Email: deptptr@novsu.ac.ru
Поступила в редакцию: 2 апреля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2004 г.

Установлено, что пленки SiC на стеклянных подложках имеют аморфную структуру, обладают высокими изоляционными свойствами и хорошей механической прочностью. Интегральный коэффициент светопропускания пленок SiC в спектральном диапазоне lambda=0.4-0.7 mum зависит от их толщины. Обнаружен эффект самосопряженной перфорации пленок SiC при травлении их в плавиковой кислоте.
  • Tawada Y., Tsuge K., Kondo M. // Appl. Phys. 1982. Vol. 53. N 7. P. 5273--5281
  • Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. М.: Энергоатомиздат, 1983. 136 с
  • Yonezawa Toshio, Ajima Takashi, Uchida Masato // Patent USA. N 4224636
  • Долотов Н.И., Карачинов В.А., Таиров Ю.М., Тишер Х., Цветков В.Ф. // Кристаллография. 1987. Т. 32. N 2. С. 526--527.
  • Иванов П.А., Челноков В.Е. // ФТП. 1995. Т. 29. Вып. 11. С. 1921--1943
  • Комов А.Н., Чепурнов В.И., Фридман Т.П. // Тез. докл. III Междунар. семинара "Карбид кремния и родственные материалы" Великий Новгород: НовГУ им. Ярослава Мудрого, 2000. С. 108--109
  • Корляков А.В., Лучинин В.В., Никитин Н.В. // Там же. С. 111--112
  • Корляков А.В., Костромин С.В., Косырева М.М., Лучинин В.В., Мезенов А.В., Нитикин Н.В., Сазанов А.П., Сак А.В. // Опт. журн. 2001. Т. 68. N 12. С. 109--114
  • Корляков А.В., Лучинин В.В., Мальцев П.П. // Микроэлектроника. 1999. N 3. С. 201--202
  • Тхорик Ю.А., Хазан Л.С. Пластическая деформация и дислокации несоответствия в гетероэпитаксиальных системах. Киев: Наукова думка, 1983. 304 с
  • Виолин Э.Е., Демаков К.Д., Кальнин А.А., Нойберт Ф., Потапов Е.М. // ФТТ. 1984. Т. 26. Вып. 5. С. 1575--1581
  • Sussman R.S., Ogden R. // Phil. Mag. 1981. Vol. B44. N 1. P. 137--158
  • Самсонов Г.В., Виницкий И.М. Тугоплавкие соединения. М. Металлургия, 1976. 560 с
  • Луфт Б.Д. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников. М.: Радио и связь, 1982. 136 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.